台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。 电子光学系统：电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。 电子：其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。 电磁透镜：其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小，使原
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台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。
电子光学系统：电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。
电子：其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。
电磁透镜：其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小，使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。
扫描线圈：其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。
如何选择高加速电压的缺点
加速电压越高入射电子束的波长越短，也就越容易得到高分辨力的图像，还有抗外部电磁场的干扰能力也会增强，也不易受到试样表层污染斑的影响，所以高的加速电压比较适合拍摄高倍率的图像。
选择高加速电压的缺点，所获得的图像会缺少表面信息和细节，易呈现高反差，特别是会明显变大边缘效应，使得到的图像欠柔和，也会使图像容易呈现生硬的感觉。另外，高的加速电压、大的束斑也容易造成试样的放电和损伤，以及图形的漂移。
灯丝达到工作温度及饱和度所需的加热电流
灯丝达到工作温度及饱和度所需的加热电流也随灯丝的变细而减小，其寿命也随加热温度的升高而降低。由于钨阴极自身温度升高，使之蒸发加快，阴极丝直径随着蒸发量的加大而变小，也随使用时间的增长而变得越来越细，导致阴极丝断开。
虽然提高灯丝的工作温度，即加大加热电流可能还能略微加大发射束流、增加一点亮度，但付出的代价将会是使灯丝寿命明显缩短；反之若适当地减小加热电流，则灯丝的工作寿命会相应延长。正常的灯丝加热电流应调在临界饱和状态，从而既可稳定地发射电流，又不至于影响其正常的工作寿命。
扫描电子显微镜SEM参数
扫描电子显微镜SEM 基本参数
放大率：通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到
场深：扫描电子显微镜SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。
工作距离：工作距离指从物镜到样品高点的垂直距离。如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。 如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。
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