洁净室（区）空气洁净度检测等级
（1）空气洁净度100 级的洁净室（区）应对大于等于5μm 尘粒的计数多次采样，当大于等于5μm 尘粒多次出现时，可认为该测试数值是可靠的。生产工艺对温度和湿度无特殊要求时，洁净室（区）温度应为18～26℃，相对湿度应为45%～65 %
（2）洁净室（区）应根据生产要求提供照度，并应符合下列规定：
（3）辅助工作室、走廊、气闸室
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洁净室（区）空气洁净度检测等级
（1）空气洁净度100 级的洁净室（区）应对大于等于5μm 尘粒的计数多次采样，当大于等于5μm 尘粒多次出现时，可认为该测试数值是可靠的。生产工艺对温度和湿度无特殊要求时，洁净室（区）温度应为18～26℃，相对湿度应为45%～65 %
（2）洁净室（区）应根据生产要求提供照度，并应符合下列规定：
（3）辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜150lx。
（4）非单向流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于60dB（A），单向流和混合流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于65dB（A）。
洁净室检测程序
洁净室的检测主要是指对洁净室或洁净区域的空气洁净度等级进行测定，生物洁净室还要进行浮游菌、沉降菌的测试。在工程建设过程中的检测主要包括工程竣工验收和洁净室综合性能评定两个阶段的检测。在洁净厂房使用过程中，应对洁净室或洁净区域进行监测，并定期进行综合性能测试，以认证该洁净室或洁净区域是否始终符合要求。洁净室的检测首先应明确洁净室或洁净区域的占用状态，按照GB 50073-2013《洁净厂房设计规范》规定，洁净室检测状态分为空态、静态和动态三种：
a.空态检测。设施已建成，其服务动力共用设施区接通并运行，但在无生产设备、材料和人员的状态下所进行的测试称为空态检测。
b. 静态检测。设施已建成，生产设备已经安装好，并按供需双方商定的状态运行，但无生产人员的状态下所进行的测试称为静态检测。
c. 动态检测。设施以规定的方式运行，并在商定的状态下进行工作，在此情况下进行的测试称为动态检测。
洁净室泄漏检测
1.于ULPA上游侧，测定一次侧之外气或回风浓度，以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值（可以ULPA本身之透过率或率,计算之间。
2.距 ULPA测试面下方30—50MM处，以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之,每量测距离间距5OM / M，其量测方向为由外围渐次向内，
3.在防侦烟器等部分均必须做量测。将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。
洁净室检测
1．洁净度检验:于距地板高度约1.23~1.25M用微尘粒子计数计测试之,测试完毕,应列印其数值记录。
2．风速及风量检验:于ULPA下方约150M / M处，用热线式风速计测定，原则上每只ULPA测定两点，每点之测定时间约5秒;风量则依风速之测试值，以下式之公式计算之。风量=平均风速×出风之面积（ULPA之面积)。
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