蚀刻注意的问题提高整个板子表面蚀刻速率的均匀性 板子上下两面以及板面上各个部位的蚀刻均匀性是由板子表面受到蚀刻剂流量的均匀性决定的。 蚀刻过程中,上下板面的蚀刻速率往往不一致。一般来说,下板面的蚀刻速率高于上板面。因为上板面有溶液的堆积,减弱了蚀刻反应的进行。可以通过调整上下喷嘴的喷啉压力来解决上下板面蚀刻不均的现象。蚀刻印制板的一个普遍问题是在相同时间里使全部板面都蚀
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蚀刻注意的问题
提高整个板子表面蚀刻速率的均匀性 板子上下两面以及板面上各个部位的蚀刻均匀性是由板子表面受到蚀刻剂流量的均匀性决定的。 蚀刻过程中,上下板面的蚀刻速率往往不一致。一般来说,下板面的蚀刻速率高于上板面。因为上板面有溶液的堆积,减弱了蚀刻反应的进行。可以通过调整上下喷嘴的喷啉压力来解决上下板面蚀刻不均的现象。蚀刻印制板的一个普遍问题是在相同时间里使全部板面都蚀刻干净是很难做到的,板子边缘比板子中心部位蚀刻的快。采用喷淋系统并使喷嘴摆动是一个有效的措施。更进一步的改善可以通过使板中心和板边缘处的喷淋压力不同,板前沿和板后端间歇蚀刻的办法,达到整个板面的蚀刻均匀性。 提高安全处理和蚀刻薄铜箔及薄层压板的能力 在蚀刻多层板内层这样的薄层压板时,板子容易卷绕在滚轮和传送轮上而造成废品。所以,蚀刻内层板的设备必须保证能平稳的,可靠地处理薄的层压板。许多设备制造商在蚀刻机上附加齿轮或滚轮来防止这类现象的发生。更好的方法是采用附加的左右摇摆的聚四氟乙烯涂包线作为薄层压板传送的支撑物。对于薄铜箔(例如1/2或1/4盎司)的蚀刻,必须保证不被擦伤或划伤。薄铜箔经不住像蚀刻1盎司铜箔时的机械上的弊端,有时较剧烈的振颤都有可能划伤铜箔。

在金属蚀刻机生产加工中乾有机化学除油后,蚀刻加工厂家里有一步将工件渗入酸洗水溶液中清洗的加工工艺,蚀刻加工领域中称作酸洗。为何必须开展酸洗呢,今日就来为各位介绍一下金属蚀刻加工加工工艺中酸洗的功效,带大伙儿更掌握蚀刻。
金属蚀刻加工经除油后的资料开展酸洗的功效具体有下面一些层面:
1.对偏碱除油后的中合,除油全过程中大多数采用的是碱性溶剂,尽管历经水清洗但也有一部分残余,如果不开展中合,会与蚀刻加工原材料发生反映,造成 铁锈等难题,因此必须依据除油挑选相应的酸性溶液清洗开展中合。
2.根据酸洗将工件在开展偏碱或酸碱性除油时需形成的不可溶附属物开展清洗,使工件的全部表面产生一个清理面。工件表层的不可溶附属物是在开展有机化学除油解决时需产生的本身原材料和杂物的化合物或其它不可溶的酸盐,这种不可溶的化合物或酸盐大多数溶解强碱。
金属表层的酸洗不仅于对除油后的酸洗,实际上在全部金属蚀刻机的加工工艺中有很多工艺流程经生产后必须开展酸洗。可是钝化处理和化工空气氧化后无法开展酸洗,这也是除外的状况。酸洗一般全是选用一个酸洗槽和其搭配的水清洗槽开展泡浸式酸洗,也是有选用由喷式或超音波水清洗构成的协同清洗系统软件。应用这类协同清洗系统软件还可以将繁杂的工件表层清洗千净,还能够使实际操作時间减少,尤其是有效的水清洗系统软件更能够 保证在清洗的条件下大限度地降低需水量,进而降低污水处理系统软件的负载和成本费。
刻蚀相对光刻要容易。光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。
“刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。
扩展资料:
光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动
1.手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;
2.半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐;
3.自动: 指的是 从基板的上载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。
1.蚀刻方法的挑选:金属材料蚀刻的方式依据工件与饱和溶液的触碰方式具体有二种,即
喷洒式和浸泡式。蚀刻方法的挑选标准有下列二种。
(1)总产量:喷洒式蚀刻、速度更快、,合适有一定大批量的生产制造,生产便于完成机械自动化,但机器设备资金投入大,与此同时都不适合对异性朋友工件及大中型工件的蚀刻:浸泡式蚀刻机器设备付出小,蚀刻便捷,适用工件覆盖面广,但不适宜于大批的生产制造,与此同时浸泡式蚀刻较喷洒式速度比较慢,相对而言要低,生产过程不容易完成机械自动化。
(2)工件形状及尺寸:针对大中型工件因为受机器设备的限定,采用喷洒式蚀刻
难以开展,而浸泡式就不容易受工件尺寸的危害。工件形状繁杂,在喷洒时有一些位置会发生喷洒不上的具体情况而危害蚀刻的正常开展,而浸泡式因为是将工件全部浸泡在蚀刻液中,只需维持蚀刻液和工件中间的动态性,就能确保异性朋友工件的各种位置都能充斥着蚀刻液并开展新液与旧液的持续拆换,使蚀刻能一切正常开展。
针对并不大的平面图或是几面图的工件假如情况容许,采用喷洒式蚀刻无论是或是精密度都好于浸泡式蚀刻,因此,针对大批量大,工件尺寸适度(与机器设备相关)、形状简易的平面图形状的工件以采用喷洒式为优选;假如工件外观设计较为大无法采用蚀刻机,工件形状繁杂,大批量并不大,这时以采用浸泡式为宜。
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