在批次清洗工艺还是在单晶圆清洗工艺中，传统的浸没清洗仍起主导作用。在单晶圆清洗工艺时，这一趋势由于太阳电池清洗技术的需求而强化。该技术中，由于被加工衬底的剪切数目(shear number)，可选用批次加工方法。可以使选择气相清洗化学过程与批次加工兼容。但同时，单晶圆清洗方法（如旋转清洗）正推进到应用领域。
清洗的注意事项：
(1) 设备运行时，腔
显影腐蚀台
在批次清洗工艺还是在单晶圆清洗工艺中，传统的浸没清洗仍起主导作用。在单晶圆清洗工艺时，这一趋势由于太阳电池清洗技术的需求而强化。该技术中，由于被加工衬底的剪切数目(shear number)，可选用批次加工方法。可以使选择气相清洗化学过程与批次加工兼容。但同时，单晶圆清洗方法（如旋转清洗）正推进到应用领域。
清洗的注意事项：
(1) 设备运行时，腔体内必须放卡塞,否则由于平衡破坏造成设备损坏或精度降低；
(2)晶片必须均匀放置在卡塞内，尽量保证首尾重力平衡；
(3)卡塞放置在腔体内时，片子正面应朝向观察窗一侧；
(4)设备运行中不得试图打开密封门盖，否则会造成人体伤害或机器损坏。
苏州晶淼半导体设备有限公司致力于向客户提供湿法制程刻蚀设备、清洗设备、pp/pvc通风柜/厨、cds化学品集中供液系统解决方案。我们的每台设备除标准化制作外，还可根据客户的工艺需求和工作环境的具体要求，对设备进行人性化、个性化设计，极大限度的将客户的想法转化为实际应用。能完全满足规模化生产和研发需求。
超声清洗：
对不同材料及孔径的MCP应采用频率、声强可调的超声波进行实验,以确定实际工艺参数。对孔径6~12μmMCP的清洗,当媒液为水和乙醇时,可采用空化阈约1/3
W/cm2,声强10~20 W/cm2,频率20~120 kHz的超声波进行清洗。
阀座加工后污物的特点
阀座经机加工后液压集成块的深孔里面的毛刺，特别是那些尚未脱落的毛刺，用普通的吹、洗等方法难于处理。曾经尝试使用火焰的方法将深孔里的毛刺烧掉后再用油和高压风冲刷清洗处理，因毛刺的热容量较小，遇火焰很容易融化脱落而被热风带出，由于集成块的热容量大，仅使局部发热不会造成损坏。也有尝试进行酸洗的，而后再用高压液体冲洗。这二种办法均不理想。
阀座超声波清洗机其实在加工像阀体这样的工件，针对切削油较多，毛刺多而不易脱落的特点，可以进行以下的清洗配合：高压喷淋+旋转+超声波,同时也是针对阀座本身加工中产生的油和屑更好的去除办法。
当然，很多人说用酸洗又快又好。殊不知，酸是很容易将毛刺腐蚀，在腐蚀毛刺的同时也腐蚀着工件本身；另，对环境更是一种致命的打击。
清洗机的优点
超声波清洗机是利用超声波发生器产生的的超音频电信号,通过换能器的压电效应转换成同频率的机械振荡,并以超音频机械波的形式在清洗液中辐射.由于超音频机械波传播的正压区和负压区交替作用,产生无数超过1000个大气压的微小气泡,形成对清洗物表面的细微局部高压轰击,使物体表面及缝隙之中的污垢迅速剥落,这就是超声波清洗机所特有的“空化效应”.人们利用这一“空化效应”把超声波清洗机广泛的应用在:
航空、航天;2铁路;3汽车、摩托车制造业;4光学器件;5液晶(lcd)制造;6电子制计算机;7微电子;8电子电器元器件;9五金冲压件;10机械的零件;11家电产品;12电镀,真空镀;13钟表、眼镜、珠宝;14电机,微电机;15容器类;16医学器具;17中药材有效成份萃取;18维修清洗--各种设备,设施,交通运输车辆工具,家用电器维修中的除油,除尘,除垢清洗;印刷行业的胶辊、丝印网清洗,打印机喷头清洗,cd/vcd/dvd光盘等领域生产加工过程中或终端的除油、除蜡、粉尘,松香等污染物的清洗。
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