概述
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。
应用
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真
爱德华真空泵代理
概述
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。
应用
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光
功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。
轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是技术设备的制造商所需要的。
订购信息
Edwards真空泵 EH4200 罗茨真空泵 爱德华罗茨泵 机械增压泵
EH4200 Industrial
●EH4200IND 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30975946
●EH4200IND 200 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW NRC215000
●EH4200IND 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30976982
●EH4200IND 200 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp NRB988000
EH4200 PFPE*
●EH4200FX 220-240 V or 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW On application
●EH4200FX 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp On application
EH4200 Chemical**
●EH4200C 230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30956982
●EH4200T3 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30941935
●EH4200T160 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30979900
设备的参数相同，但是真空泵内在的技术不一样，所以可靠性还有噪音震动，这些方面的数据也都会存在差异，我们作出选择的过程中，尽量的去选择那些可靠性更高，噪声更低，震动更小的设备应用的过程中，才能够给我们带来了更多的保障，如果设备内在的技术不成熟，使用的过程中存在着各种问题，那么不仅会对周围的环境带来影响，也会给我们造成不利的问题发生，因此大家应该正确的去认识。针对各种困难工艺，例如会生成颗粒、可凝结和腐蚀性副产品的PECVD等，IH系列提供极高的可靠性。
真空泵抽气量不足的原因及解决方法是什么？
看看进气口和排气口是否接错了，三相泵的话看看是不是电机反转了。如果真空泵电机还是好的。而且如果是不同工作方式的泵，不能正常工作的原因还是有所区别的，不能一概而论。
真空泵抽气量不足的故障原因：
①泵的转速规定转速。
②叶轮与端盖的间隙过大。
③填料室密封漏气。
④吸入管道漏气。
⑤供水不组。
⑥水环温度过高。
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