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洁净度检测-采样

所用的采样管必须处理干净,与粒子计数器和采样器连接处必须严密无渗漏。采样管的长度控制在1.5m范围内。采样管的流速,要与洁净室断面风速相接近,使之成为等动力流速采样。对于大流量粒子计数器,为了降低采样管的进口空气速度能维持在0.5m/s左右,应配以采样头,否则将会出现灰尘微粒计数偏低现象。如粒子计数器无配套的采样器时,可按下式计算自行制作一个异径管(大小头)

洁净室的气流组织

洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口，以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势，与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后，侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险，使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离，也是必要措施之一。

洁净室各类检测

1．温湿度检验:①使用温湿度计测试时，距地板高度约1.2M,用温湿度计于测试，约每9M2测定一点，每点之测定时间约5秒;②如使用温湿度记录器测试时﹐需于选定之测试点做24小时之连续测试。

2．噪音检验:距地板约1.2M，用噪音计于测测试，测数以每9M为一点，每点测定时间5秒。

3．不管气流为层流．乱流或混合式流，于工程完成后之状（ASBUILT)各项目大部分均须列入检验，但在作业状态则有所选择。

洁净室压差日常监测如何控制

一.关于压差报警，允许对压差报警设定，以满足日常操作需要（如进出开门），但需要合理确定该项活动所需要的时间，并以此确定。通常需要延迟报警或行动警报，以允许洁净室的正常活动，如开门以允许人员进出。仔细观察典型的或预期的正常偏差的持续时间是确定适当的时间延迟的必要条件。超出正常持续时间的偏差应报警。

二.有关缓冲间门的要求，除非安装充气密封（equipped with inflatable seals），否则开门后压差存在泄漏（客观事实）。当人员或物料从一个洁净室或洁净区移动到另一个洁净室或洁净区时，气闸（缓冲间）的设计有助于保持压差。气闸的设计或操作使一个相对的门总是关闭。然而，除非这些门装有充气密封，否则当其中一扇门打开时，通过气闸的泄漏量通常比两扇门都关闭时更大（客观事实）。