扫描电镜带能谱是一种体积小巧,可安放在实验台面上操作的台式电扫描电镜带能谱是一种体积小巧,可安放在实验台面上操作的台式电子显微镜。它的电子光学系统、探测器、电路控制系统、信号采集系统和操作软件均为自主研制。独立研发的电子光学系统设计,使拍摄图片具有更高的信噪比和对比度。配合很高的信号采集带宽,可以在视频帧率下高质量的流畅显示样品。只需鼠标就可完成所有操作,无需光阑对中等复杂
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扫描电镜带能谱是一种体积小巧,可安放在实验台面上操作的台式电
扫描电镜带能谱是一种体积小巧,可安放在实验台面上操作的台式电子显微镜。它的电子光学系统、探测器、电路控制系统、信号采集系统和操作软件均为自主研制。独立研发的电子光学系统设计,使拍摄图片具有更高的信噪比和对比度。配合很高的信号采集带宽,可以在视频帧率下高质量的流畅显示样品。只需鼠标就可完成所有操作,无需光阑对中等复杂步骤。主机集成高压及控制系统,是目前市面上体积较小的台式扫描电镜,便于移动,安装无需特殊环境。

影响扫描电镜的分辨本领的主要因素
影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有:
A. 入射电子束束斑直径:为扫描电镜分辨本领的极限。一般,热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm,场发射电子可使束斑直径小于3nm。
B. 入射电子束在样品中的扩展效应:扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高,样品原子序数越小,则电子束作用体积越大,产生信号的区域随电子束的扩散而变大,从而降低了分辨率。
C. 成像方式及所用的调制信号:当以二次电子为调制信号时,由于其能量低(小于50 eV),平均自由程短(10~100 nm左右),只有在表层50~100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面, 发生散射次数很有限,基本未向侧向扩展,因此,二次电子像分辨率约等于束斑直径。

小心地施加灯丝的加热电流
直热式的钨阴极发射通过对灯丝的直接加热,把电子从钨阴极材料中激发出来。若增加灯丝的加热电流,灯丝的温度就会随之上升,发射的束流也会随之加大。当灯丝的发射束流达到其高点时,即使再加大灯丝的加热电流,其发射的束流也很难再有明显增加,而只会增加灯丝的温度,从而加速灯丝的挥发,进而导致灯丝很快烧断。也就是说操作者应该小心地施加灯丝的加热电流,以获得既大又稳定的发射束流,而灯丝的温度又能恰到好处,不至于升得太高而造成过热,这个点就叫作饱和点。

电磁透镜有聚光镜及物镜两种
通常,电磁透镜有聚光镜及物镜两种:聚光镜是电子向样品移动时遇到的个透镜。该透镜在电子束锥再次打开前使电子束会聚,并在撞击扫描样品之前由物镜再次会聚。聚光镜决定了电子束的大小(这决定了分辨率高低),而物镜的主要作用是将电子束聚焦到样品上。它的透镜系统还包含扫描线圈,用来对样品表面进行栅网式扫描。很多时候,会将光阑与透镜相结合来控制电子束的大小。
首先在扫描电镜窗口下找到感兴趣的样品区域,其次在能谱软件窗口对样品区域进行点、线或面扫描,即可获取样品区域的元素种类、分布及含量百分比。

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