PVD灯具的铝涂层真空镀膜PVD灯具的铝涂层真空镀膜。因为是金属薄膜,DC磁控溅射当然好。速度快。中频适合镀复合膜。如果选择离子源,霍尔离子源就足够了。但是要注意灯具的大小。一般霍尔离子源为圆形,离子源覆盖面积有限。你必须用离子束覆盖所有工件。如果普通霍尔离子源太小,可以考虑阳极层离子源。离子源难以发光的一个原因是磁场太弱,无法激发等离子体。虽然离子源种类很多,但基本上
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PVD灯具的铝涂层真空镀膜
PVD灯具的铝涂层真空镀膜。因为是金属薄膜,DC磁控溅射当然好。速度快。中频适合镀复合膜。如果选择离子源,霍尔离子源就足够了。但是要注意灯具的大小。一般霍尔离子源为圆形,离子源覆盖面积有限。你必须用离子束覆盖所有工件。如果普通霍尔离子源太小,可以考虑阳极层离子源。离子源难以发光的一个原因是磁场太弱,无法激发等离子体。虽然离子源种类很多,但基本上是先产生等离子体,然后从等离子体中提取气体离子,加速成离子束,以便后期注入电子,根据需要中和离子流。

溅射镀膜的基本原理:充(Ar)气的真空环境中
溅射镀膜的基本原理:充(Ar)气的真空环境中,当(Ar)原子被电离,形成离子(Ar)时,离子在电场力的作用下,加速轰击用镀料制成的阴极靶,靶将溅射出来并沉积在工件表面。溅射膜中的入射离子,一般是通过辉光放电获得的,在l0-2Pa~10Pa范围内,因此溅射出的粒子在飞向基体时,容易与空气中的气体分子发生碰撞,使其运动方向随机,沉积的薄膜容易均匀。

PVD法历早采用真空蒸镀技术
PVD是一种物理气相沉积法,它分为:真空蒸发法、真空溅射法和真空离子法。PVD镀膜通常指的是真空离子镀膜;NCVM镀膜通常指的是真空蒸发镀膜和真空溅射镀膜。真空镀的基本原理:在真空条件下,金属、金属合金等被蒸发蒸发,然后沉积到基体表面,蒸发法通常采用电阻加热,电子束轰击镀料,使其蒸发成气相,然后沉积到基体表面,PVD法历早采用真空蒸镀技术。

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