高分辨力扫描电子显微镜的工作经验在目前微观形貌的分析研究中，随着半导体器件等高新技术的发展，往往要求对表面的细微结构能够更深入地观察和了解，因此发展高分辨力的电镜一直是生产厂商和用户们所追求的共同目标。要获得一张清晰、高分辨的照片，不仅要有一台性能优越的高分辨力扫描电子显微镜，而且还取决于试样自身的特征和操作人员的工作经验，即要考虑以下几种因素：（1）入射电子束的束流密度要
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高分辨力扫描电子显微镜的工作经验
在目前微观形貌的分析研究中，随着半导体器件等高新技术的发展，往往要求对表面的细微结构能够更深入地观察和了解，因此发展高分辨力的电镜一直是生产厂商和用户们所追求的共同目标。要获得一张清晰、高分辨的照片，不仅要有一台性能优越的高分辨力扫描电子显微镜，而且还取决于试样自身的特征和操作人员的工作经验，即要考虑以下几种因素：
（1）入射电子束的束流密度要足够大，而且稳定→电子源的发射问题。
（2）入射电子束的束斑是否足够细、足够旋转对称（圆），涉及电子透镜的设计、加工和装配水平，以及镜筒受污染的影响程度等→探针的形成问题。
扫描电镜的电子束轰击试样
当扫描电镜的电子束轰击试样表面时，电子束会进入试样内部，产生散射现象，电子束在散射后会改变前进方向，而且还会损失部分能量，随之而来产生各种其他信息，如热、俄歇电子、X射线、可见光、二次电子、背散射电子等。
当入射电子与试样相互作用后，其中有一部分电子会返回表面逸出，则这部分被返回表面逸出的原入射电子被称为背散射电子。在实际成像过程中，通常以能量大小对电子信息进行分类，能量大于50eV而小于入射束能量E0的电子称为背散射电子，大部分背散射电子的能量约为原入射能量E0的0.7～0.9倍。利用背散射电子来成像所获得的图像称为背散射电子像。背散射电子像在电镜成像中的使用率和图像的分辨力也都比较高，仅次于一次电子像。
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。
电子光学系统：电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。
电子：其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。
电磁透镜：其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小，使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。
扫描线圈：其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。
未来需求超过台式扫描电镜性能的担忧
扫描电镜使用是否是经常性的且需求明确的如果是这样，台式扫描电镜可以就提供所需的信息，为什么要花费更多关于未来需求超过台式扫描电镜性能的担忧，应该根据潜在需求的确定性和时机，以及对更高要求应用的外部资源可用性来评估。即使未来需求超过台式扫描电镜能力，台式扫描电镜的初始投资也可以继续提供回报，因为该系统可用于补充未来的落地式扫描电镜系统，如筛选样品或继续执行日常分析，落地式扫描电镜应用于要求更高的应用。
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