因螺杆真空泵无需油润滑或水密封,泵腔内完全无油,因此螺杆真空泵是无油干式真空泵,在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有的优越性,可较好地替代旋片式真空泵、滑阀式真空泵使用。
螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵,多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联,相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言,因螺杆真空泵的各
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因螺杆真空泵无需油润滑或水密封,泵腔内完全无油,因此螺杆真空泵是无油干式真空泵,在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有的优越性,可较好地替代旋片式真空泵、滑阀式真空泵使用。
螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵,多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联,相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言,因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道,而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧,因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。
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干式螺杆真空泵的净化和清洗处理,是为了除去在压缩过程中残留在干式螺杆式真空泵内的气体和压缩蒸汽。当干式螺杆真空泵重新启动时,这些残余物质有可能导致电机过载,这些物质可能产生过多的摩擦负载或损坏螺杆或泵体。所以在泵内积相当数量的不洁物质的情况下,泵内要清除干净。 螺杆真空泵净化清洗操作主要通过冷却净化和清洗净化。真空泵报价
冷却净化的目的是冷却泵体内部和螺杆。在泵运行时,螺杆旋转使得被抽气体进入泵腔而且压缩到排气端,由于热压缩,气体温度会迅速升高.为了防止泵被损坏,这些热量必须立即排除。 通常使用大气中的空气作为冷却净化介质,当被抽工艺气体不适合用空气净化时,就要采用其它的冷却介质如氮气,清洁干燥的空气等。对于标准的泵,在靠近泵体排气端的位置设置了接口。
干式螺杆真空泵出现于上世纪90年代初,由于它具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点,因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到广泛应用。
真空泵报价干式螺杆真空泵是由一对同步齿轮带动逆向旋转的螺杆,在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间均有一定的间隙,没有任何金属与金属之间的接触。于是螺杆在旋转过程中就将被抽气体从进气口吸入并排出到排气口。干式螺杆真空泵按照其中螺杆类型划分可分为等螺距和变螺距两类,而变螺距中又分为螺杆二段螺距大小不等和螺杆螺距连续变化两种。

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