涡旋真空泵的主要性能表征参数
5.1.1间隙大小
间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和
装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以
由式((2.11)计算得到，即
e二，*R,-2* a * R.-R
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涡旋真空泵的主要性能表征参数
5.1.1间隙大小
间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和
装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以
由式((2.11)计算得到，即
e二，*R,-2* a * R.-R (5.1)
5.1.2抽气速率
理论抽气速率Sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一
个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，并且该祸旋泵
为双侧涡旋，那么Sth可表达为下式:
S1,=2仇、+Vol卜(5.2)
其中VII, Vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压
缩腔的容积。、
实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄
漏，其实际抽速S要理论抽速Sth，设P:为吸入口压力，P:为排气口压力，
Q。为总泄漏，则〔10)
S*PL=Sw*P,司t
则实际抽速为
g
J=J'*一下了
r,
(5.3)
5.1.3极限压力
涡旋式无油真空泵的极限压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达
到的稳定时的低压力，用P。表示。此时泵的实际抽速S=O，令式((5.3)中的实际
抽速S=O，即可得极限压力〔10)
(5.4)
真空泵转子与静止件轴向摩擦的振动机理
理论研究和试验表明，转子与精致件发生轴向摩擦时，真空泵转子的振动特征几乎与正常状况一致，没有明显的异常特征，所以诊断轴向摩擦时，不能用波形、轴心轨迹和频谱方法去识别，必须寻求新的铭感参数。
真空泵轴向干摩擦力与旋转速度有关，由于轴向干摩擦的作用使基频影响相对下降，同时有高频成分出现，所以轴向干摩擦具有阻尼的特性。轴向干摩擦力的打小正比于转子与静止间的干摩擦因数和轴向力。轴向干摩擦阻尼远大于径向摩擦
阻尼，由于轴向干摩擦会引起系统阻尼的显著增加，因此系统阻尼的变化可作为轴向摩擦的识别特征。
另外，摩擦会造成成功耗上升和效率下降，同时局部会有温升，因此工艺参数对转子与静止件轴向摩擦的故障诊断非常重要
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