二次电子像的阴影效应不明显这些不同细节的部位发出的二次电子数各不相同,从而产生亮暗不一的衬度。由于二次电子的能量小,用 E-T探测器检测时,仅需在其前面的栅网上加几百伏的正电位,常施加的电位为+250~+300V,即通过该电位就可把试样上发射出来的大部分二次电子吸引过来,所以二次电子像的阴影效应不明显。在二次电子探测器所对应的立体角内也能接收到相应的一小部分背散射电子,所以
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二次电子像的阴影效应不明显
这些不同细节的部位发出的二次电子数各不相同,从而产生亮暗不一的衬度。由于二次电子的能量小,用 E-T探测器检测时,仅需在其前面的栅网上加几百伏的正电位,常施加的电位为+250~+300V,即通过该电位就可把试样上发射出来的大部分二次电子吸引过来,所以二次电子像的阴影效应不明显。在二次电子探测器所对应的立体角内也能接收到相应的一小部分背散射电子,所以在二次电子像中也包含了一小部分背散射电子的信息,如图b中对应的背散射电子成分像的一些衬度信息也能在图a中反映出来,只不过图a中所显现的原子序数的衬度没有像图b中那么明显而已。

从电子中发射出高能电子束撞击样品表面,与原子的内层电子发生
从电子中发射出高能电子束撞击样品表面,与原子的内层电子发生非弹性散射作用时,使原子发生电离,从而使原子失去一个内层电子而变成离子,并在该电子层对应位置产生一个空穴,原子为了恢复到稳定态,较外层的电子就会填补到这个空穴,在填补过程中同时会产生具有特征能量的X射线,探测器接收到这些特征X射线后,经过分析处理转换得到谱图和分析数据输出。
当以背散射电子为调制信号时,由于背散射电子能量比较高,穿透能力强,可从样品中较深的区域逸出(约为有效作用深度的30%左右)。在此深度范围,入射电子已有了相当宽的侧向扩展,所以背散射电子像分辨率要比二次电子像低,一般在500~2000nm左右。

单个用户可以根据常用功能设置相应的图标,营造快捷的操作环境
单个用户可以根据常用功能设置相应的图标,营造快捷的操作环境。用户登录时,即可加载已注册过的设定。画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像,保存在文件中。
分析型扫描电子显微镜配备两台监视器,一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析。一只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便。

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