无油螺杆真空泵是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成的一个工作室，转子与泵体之间没有磨擦且保持一定的间隙，两个转子与泵体之间形成了密封腔，当转子旋转时把密封腔内的气体不断地挤带至排气口排出。螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道，而是直接将
三木森真空泵优势
无油螺杆真空泵是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成的一个工作室，转子与泵体之间没有磨擦且保持一定的间隙，两个转子与泵体之间形成了密封腔，当转子旋转时把密封腔内的气体不断地挤带至排气口排出。螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。三木森真空泵优势
因螺杆真空泵无需油润滑或水密封，泵腔内完全无油，因此螺杆真空泵是无油干式真空泵，在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有的优越性，可较好地替代旋片式真空泵、滑阀式真空泵使用。
螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。
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螺杆式真空泵的工作原理
因为是脱胎于螺杆式压缩机，所以螺杆式真空泵的工作原理也与螺杆式压缩机类似。我们以近似的多头型线的来阐述：
1、吸气过程
图中可见，阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。
a、吸气过程即将开始
b、吸气过程中
c、吸气过程结束
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螺杆真空泵的动密封件在齿轮箱盖附近多为骨架油封，进气口侧多采用双唇型密封圈或机械密封，排气口侧多为机械密封、唇形密封、氮气密封或其组合形式。像螺杆真空泵厂家介绍过的磁流体密封这些还未见用于螺杆真空泵的密封装置中。这些密封装置形式，相对来说，唇形密封结构简单、成本低，但是使用寿命较短；机械密封工作稳定，密封性好，但成本相对较高。而且由于泵有压缩过程，排气端处温度较高，机械密封在高温工作下端面磨损剧烈，如果温升过高会大大缩短机械密封的寿命。三木森真空泵优势
螺杆真空泵在石化行业蒸汽回收方面的应用
干式螺杆真空泵在蒸汽回收装置中是一个关键性设备，所抽气体为容易挥发的蒸汽，主要成份是C4、C5、C6 等蒸汽，其装置原理如图16 所示。
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