厦门太星机电有限公司专生产真空泵、销售、维修等,主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修,气体管道工程设计、施工、安装、检漏等,干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
科研院所实验室以及工厂车间生产线经常用到超高纯工艺气体,这些气体的纯度要求大多在99.999%(5N)或以上,而不同类型的气体对管件的要求也不同,常用管件为SUS316不锈钢管。
普旭真空泵厂家
厦门太星机电有限公司专生产真空泵、销售、维修等,主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修,气体管道工程设计、施工、安装、检漏等,干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
科研院所实验室以及工厂车间生产线经常用到超高纯工艺气体,这些气体的纯度要求大多在99.999%(5N)或以上,而不同类型的气体对管件的要求也不同,常用管件为SUS316不锈钢管。
工艺气体管路安装规范
1、所有气体管道都由高质量的、完全退火型,无缝连接的不锈钢管组成。特气管道需用EP级管件,切不能与不得与线缆,导电性同架铺设。
2、所有的管路、阀门、压力表都由高质量的不锈钢构成,并且都是标准配件。特气部分材质需为EP级。
厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等,气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成,以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修,干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
c:气瓶减压阀(一次性减压阀)根据用户使用气体的频率和用气量,气瓶减压阀又分为单瓶式减压和多瓶式减压,多瓶式减压又可分为半自动减压和全自动减压,其成本相应也会不同。气瓶减压阀一致安装再气瓶上边(单瓶)也可以选择面板式安装在在墙上(双瓶或多瓶)d:终端减压阀根据用户的安装方式,控制方式可以有很多种选择,如即一台仪器需要用到几种气体,就配几个终端减压阀,目前大多数实验室都采用这种方法(推荐),压力稳定,流量也稳定。即安装一个终端减压阀,之后通过接头分到每台仪器,这样做的成本会低些,但气体的压力和流量会受到一定的影响终端减压阀根据美观和用户需要,可以安装在墙上边,也可安装在工作台上边。

2.系统检测
特气管道施工结束后都需要进行压力检测,氦检漏,颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪,不用压力表。这样大大提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪;颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪,精度达到0.1微米;而对要求更高的采用核凝结技术(CNC)它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。

3.大宗特气供气系统
大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的投资规模巨大,采用的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

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