真空法氦质谱检漏的优缺点
真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》,主要应用于真空密封性能要求,但不带压工作的产品,如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
真空法的优点是检测灵敏度高,可以准确定位,能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测,不能
正压质谱检漏真空系统公司
真空法氦质谱检漏的优缺点
真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》,主要应用于真空密封性能要求,但不带压工作的产品,如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
真空法的优点是检测灵敏度高,可以准确定位,能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测,不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
氦质谱检漏仪的不同测量方法满足多种需求
氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口,性能稳定可靠。秀长的体积,优越的性能,适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术,实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。
氦质谱检漏仪特点:
1.检测时间和响应周期非常短,可以达到2s以内;
2.检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;
3.多种大漏保护模式,充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击;
4.大漏检测功能:可通过预设压力,抽空时,达不到预设值,检漏仪自动报警提示。
5.多种计量单位选择,检测数据实时更新,直接输出生成Excel表格。
氦质谱检漏仪的选择
选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题:
(1)仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能,就不适合吸法检漏;有些仪器没有报废漏率的设置功能,不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,此时应选择有多工位的检漏仪。
(2)仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的,如果检漏要求的灵敏度较高,就要认真选择。
(3)被检件如果害怕油的污染,就应选择无油真空系统的检漏仪。
(4)被检件容积如果较大,必须选用预抽泵抽速大的检漏仪,否则就要外加预抽泵。
(5)如果被检对象不固定,体积时大时小,灵敏度要求时高时低,就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。
(6)如果检漏地点不固定,需要经常搬运仪器时,就要选择小型便携式仪器。
(7)在满足上述检漏基本要求的基础上,还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。
氦质谱检漏仪的维护方法
一、机械维护
检查泵的油量,如果低标线,则加入泵油;如果变黑或浑浊,则更换泵。使用方法见机械泵说明书。
二、清洗
泄漏探测器没有氦进入,但有一定的泄漏率指示,长期存在。这主要是由于检漏口、波纹管、密封圈等被污染后吸附的氦气,在检漏时又被释放,造成较大的底部。为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪,在氦质谱检漏仪下方设置过滤器,将其拆下,用酒精浸泡清洗。检查泄漏,用棉布擦拭波纹管。
三、处理
以下是常见的故障现象、原因及解决方法。
断电:
1.电源线连接不当;
2、保险管熔断。
3、重新接通电源。
4.更换相同规格的保险管。
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