真空泵的保养
真空通常由抽气机获得,其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。
恶劣的工作环境和差异化的使用工艺,油旋片真空泵应该及时保养或根据不同使用工艺条件缩短保养周期
真空泵散热风扇及泵体表面
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真空泵的保养
真空通常由抽气机获得,其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。
恶劣的工作环境和差异化的使用工艺,油旋片真空泵应该及时保养或根据不同使用工艺条件缩短保养周期
真空泵散热风扇及泵体表面附着杂质,影响泵体散热,油箱内部以及泵腔内部真空油固化,因真空泵油固化导致转子与叶片黏死无法甩出,单向阀堵塞损坏
定期检查油镜油位,观察真空泵油颜色,判断油量;观察排气口是否有油烟排出;如有油烟排出说明油雾分离器失效应及时更换;检查进气过滤器滤芯是否有杂质堵塞影响抽速及真空度。一定严格按照保养指导书进行保养;或者根据实际使用工况进行保养。
真空泵选型方法
泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定,泵工作时,需要注意以下两个方面:
1、尽可能要求在区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。
2、 应避免在真空度或大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此区域 之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无法工作。
根据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦,可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。
二、根据系统所需的气量选择真空泵
初步选定了泵的类型之后,对于真空泵,还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。
环境对真空泵的影响因素
1、对工作蒸汽及其干度的研究:
蒸汽压力偏低及压力波动均对真空泵的能力有较大影响,因此蒸汽压力不应要求的工作压力,但所用真空泵结构设计已定型,过多提高蒸汽压力并不会增加抽气量及真空度。另外,要确保锅炉供给的蒸汽压力稳定,建议用一台锅炉专门给蒸汽喷射泵提供工作蒸汽,这样蒸汽压力就不会出现波动,真空泵性能稳定。
2、对循环冷却水要求的研究:
冷却水供量不足,冷凝器会发热,气流声音变大,真空度迅速下降,甚至蒸汽会返入抽气管。冷凝水在多级真空泵中具有举足轻重的作用,冷凝水可以将蒸汽充沛冷凝,真空泵排出压力中的水蒸汽分压有必要高于其所对应的饱满蒸汽压,因此冷凝水的温度也要该压力下的饱满温度,才能保证泵体的正常作业。
3、对真空泵系统密封要求的研究:
真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近 年来, 伴随着我国经济持续高速发展,真空泵相关下游应用行业保持增长势头,同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下,我国真空泵行业实现了持续稳定地的发展。
4、对喷嘴要求的研究:
喷嘴是影响真空泵性能的重要部件,存在的问题有:喷嘴装错、装歪、堵塞、损坏、腐蚀和泄漏,不管采取何种预防措施,喷嘴的堵塞在所难免。一方面由于安装蒸汽管道时,管道中残存的铁屑及焊渣会堵塞喷嘴;另一方面,真空泵系统停用时,蒸汽管道易生锈,锈斑在使用时掉落堵塞喷嘴。
6、环境的影响:
环境的影响主要是指被抽气体对体系的污染,在钢液处置过程中,钢液会放出很多的气体,同时也会有一部分细微的氧化粉皮等小颗粒被吸入真空泵,这些小颗粒会堆积粘附在泵体上,减小了抽气管路流导,延长了抽气时间,下降了泵的抽气功能。
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北京华诚浩达真空空压设备有限公司
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