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1、与混合组成潘宁气体，充填在荧光灯中，可降低灯的启动电压；
2、充于冷阴极放电管中，可获得橙红色的发光，用作指示灯；
3、在微波激发下，发射单色的真空紫外谱线（74.4nm和73.6nm）
氙：
1、充入HID氙灯中，在启动后立即获得全部光输出的80%，放电时发射白光，色温5500K；
2、可制成卤素混合气体填充卤素灯；
液氧厂
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1、与混合组成潘宁气体，充填在荧光灯中，可降低灯的启动电压；
2、充于冷阴极放电管中，可获得橙红色的发光，用作指示灯；
3、在微波激发下，发射单色的真空紫外谱线（74.4nm和73.6nm）
氙：
1、充入HID氙灯中，在启动后立即获得全部光输出的80%，放电时发射白光，色温5500K；
2、可制成卤素混合气体填充卤素灯；
3、在微波激发下，发射单色的真空此外谱线（14.7nm）
1、与混合，充填在荧光灯中，可提高光效，但启动困难；
3、85同位素气体可填充入金属卤化物灯，帮助启动；
4、在微波激发下，发射单色的真空紫外谱线（123.6nm和116.5nm）
氙气 气 气 在几乎所有现代光源中都要用到氦族气体，气主要用于填充各种荧光灯、发光信号装置和辉光灯等。
对于低压放电管，在清洁的玻璃管内，纯产生橙色的光，与、氦按不同比例混合，充入各种滤光玻璃管，可制成绚丽多彩的霓虹灯（字模显示灯）。此外六氟化硫气瓶在长时间存放的过程当中，倘若气瓶的密封不好的话，那么大气当中的水分便会直接向内进行渗透，从而使得六氟化硫气体当中的含水量增加。气低压放电管广泛用做指示灯。由于光灯发出的红光透射能力强，长期以不都被用不来填充各种信号装置，作为港口、机场、车站等水陆交通要地的显示标志。
性离子化检测器要用到，在Geiger-Muller计数器中要利用含、和氦的混合气。超纯气体的制备大多是从工业气体加以纯化，有吸附法、吸收法、薄膜扩散法、电解法、生化法、辐射法、光解法、低温精馏法、催化法等。此外，在某些高压电子管转换开关和调整管中，也可以填充气。在示踪粒子检测器中，是火花室和电子流室常用的填充气。液还广泛用于低温辐射检测器，以及用于空间探索计划中其他专门仪表。与、氦和蒸气混合可用于充填磷光管。与混合可用来充填闸流射电管（thyratron radio tube）。激光技术广泛应用氦族气体，-氦连续激光器广泛应用于功率仅为零点几瓦的光学应用中。
1.六氟化硫新气或六氟化硫再生气体中本身含有水分
在生产的过程当中混入的水分是六氟化硫新气中水分的主要来源，因为六氟化硫在合成之后，需要经过一系列的工艺：热解、水洗和碱洗以及干燥吸附等，复杂的生产环节也导致遗留了少量的水分。从高压氙气的电弧特性可知，其属于对流稳定型电弧，如果氙灯横点时，电弧会向上弯曲，电弧形状会变化，光电参数也会变化。六氟化硫再生气体中的水分主要是再生过程中过滤器工作不正常或吸附剂更换不及时造成的，向设备进行充气抑或是的时候，水分就会进入设备的内部。此外六氟化硫气瓶在长时间存放的过程当中，倘若气瓶的密封不好的话，那么大气当中的水分便会直接向内进行渗透，从而使得六氟化硫气体当中的含水量增加。
2.六氟化硫设备在组装维修检查和充过程当中所混入的水分
在组装以及维修检查高压电器设备的时候，也许会把空气当中所包含的水分带入设备的内部中。金属氧化物半导体式传感器它是根据待测气体的吸附作用，使半导体的电导率发生变化，经过对电流的变化进行比较，就可以激发报警电路。即使设备在组装完毕之后仍需用高纯氮气冲洗以及抽真空干燥处理，但是，附着在设备的内壁上抑或是灭弧室元件以及拉杆等部件的水分也不会被全部排除干净。如果充管道的保存方式不当，对于管道的冲洗不完全的话，在进行充的时候也会造成水分进入到设备的内部。
3.绝缘材料以及设备当中的吸附剂其本身含有水分
环氧树脂浇注品时六氟化硫电气设备当中的固体绝缘的主要的材料，其含水量通常在0.1%～0.5%这个范围中，这些在固体绝缘材料中的水分会伴随着时间的流逝而慢慢释放掉。国内首shou个“地热井水溶氦提取试验站”在咸阳三普2号地热井（站）建成，我国独有的水溶型氦气气球在渭河盆地上空高高飘起。因为吸附剂饱和失效，平衡吸附量缺乏，对于增多的水分便没有办法再进行吸收，这便造成了设备当中六氟化硫气体含水量的增多。
4.大气中的水分经由六氟化硫电气设备密封薄弱环节而渗透到设备的内部
混合气体的气瓶，内表面决不能采用高分子材料处理。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。根据研究验证，无论何种高分子材料，都有一定量的有提物释放，这些碳氢化合是IC制造“有害”杂质尤其是在夏季，释放会加剧。目前国内许多事旧气瓶，由于内表的处理没有清晰的标识，若再使用充装类似 N02 等强氧化气体，应引起注意，否则会出现严重的安全方面的事故。
此外，原料气体的纯度也是影响气体准度的重要因素。建议新灯使用时可工作于额定电流的70%～80%，然后根据需要逐渐增大工作电流（不得超过规定的大值），这样可延长灯的使用寿命。目前市场竞争十分激烈，对于液化压缩气体，由于存在气液两相，组分尤其是较轻的组分，会随温度的变化而变化，应经常测定其浓度。必要时使用前多次置换吹扫系统，达到降低轻组分含量的目的，如高纯、C02 气体长期不用，若质量不好，气相中CH4 、N2、02 、CO含量飙升，可以通过小流量的放空处理解决，而对于较重的组分，建议留10%-20%的瓶底。
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