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在纯粹涡轮分子泵的情况下,由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5～10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽，如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏，这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。
隔膜泵作为前级泵的优势
1.外观小巧精致，重
爱发科分子泵维修固件升级
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在纯粹涡轮分子泵的情况下,由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5～10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽，如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏，这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。
隔膜泵作为前级泵的优势
1.外观小巧精致，重量小;
2.表面光滑容易清洁;
3.运行异常安静且振动低;
4.根据客户需要，干式隔膜泵可供选择的极限真空和抽气速度;
5.隔膜寿命长，高弹性的纤维增强型FKM隔膜（化学隔膜泵，耐腐蚀的PTFE三明治夹层结构隔膜）;
6.内部气路连接件漏率低，长久运行依然能保持优异的真空性能。
螺杆泵作为前级泵的优势
1.无油；
2.无易损件；
3.无磨损；
4.抽速大可达10 m3/h,极限真空低至0.005 mbar；
5.一键启动，长期7×24 h稳定运行，维护成本低，无烦恼。
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市场主要磁悬浮分子泵生产商包括真空、Atlas(Edwards&Leybold)、大阪真空机器制造所、和等，按收入计，2021年大厂商占有大约%的市场份额。从产品泵速方面来看，1500升/秒占有重要地位，按收入计，2021年市场份额为%，预计2028年份额将达到%。同时就应用来看，半导体行业在2028年份额大约是%，未来几年CAGR大约为%。
根据不同产品泵速,磁悬浮分子泵细分为:
1500升/秒
1500到3000升/秒
高于3000升/秒
根据不同应用，本文重点关注以下领域：
半导体行业
光伏行业
镀膜行业
其他
涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面：
（1）抽速与转速的关系抽速与转速之间的关系大致为S（4-67）。其中：g是由几何形状决定的常数；u是活动刀片的转速。随着速度的增加，泵送速度比直线略慢。这可以通过在抽速较高时对进气管电导率的限制来解释。根据（4-66），随着S1的增加，S将偏离直线。
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高度可靠的新型涡轮分子泵：安全、、抗老化、体积小巧
在控温方面，涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能，保障其很高运行安全性。在轴承方面，的复合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固的轴承材料让系列涡轮分子泵的具备更高可靠性。
泵运转时震动和噪音大
1.转子动平衡不好；
重新进行转子动平衡；
2.轴承润滑不好或轴承损坏；
检查并修复油路，或更换轴承；
3.前级压力过高；
降低前级压力；
4.泵安放位置不正确。
按照使用说明书正确安装。
涡轮分子泵系统常见故障及排除
故障
原 因
排除方法
极限真空度低
1.前级泵不匹配，抽气量不足；
重新选配合适的前级泵；
2.系统漏气；
查出并消除漏处；
3.泵体出气。
对泵体进行烘烤除气，烘烤温度不应高于150℃。
真空泵常规性能参数测试:抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的，也是各项设计调整优化的重要目标。很终产品定型时，对外发布的各项参数和曲线，比如下图的抽速和压缩比曲线，都来自于这些测试的结果。这些测试都有相关的，在此不再展开描述。在泵处于垂直、水平和倒立状态时，各进行6次冲击测试所测试的泵在24次跌落后无任何问题（不发生转子机械接触，泵运行状态不变）。
在每次跌落后验证泵的不平衡性，结果表明变化，远阈值。抗振动测试通过对一批泵（处于运行和非运行条件下）进行一系列测试，证明对外部源产生振动的耐受性在105分钟的振动周期中，全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到0.5–2g加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性，因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变，且泵不平衡性仍然远阈值。
温度测试将泵置于–40°C至+70°C（处于非运行状态）以及0°C至40°C（处于运行状态）下暴露86小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证11次，结果显示仅存在的变异，远阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。傅立叶振动分析在制造过程中以及泵运输前的很后测试中，对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均很大振动水平：0.4m/s2。
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