真空泵的保养
真空通常由抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。
恶劣的工作环境和差异化的使用工艺，油旋片真空泵应该及时保养或根据不同使用工艺条件缩短保养周期
真空泵散热风扇及泵体表面
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真空泵的保养
真空通常由抽气机获得，其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。
恶劣的工作环境和差异化的使用工艺，油旋片真空泵应该及时保养或根据不同使用工艺条件缩短保养周期
真空泵散热风扇及泵体表面附着杂质，影响泵体散热，油箱内部以及泵腔内部真空油固化，因真空泵油固化导致转子与叶片黏死无法甩出，单向阀堵塞损坏
定期检查油镜油位，观察真空泵油颜色，判断油量；观察排气口是否有油烟排出；如有油烟排出说明油雾分离器失效应及时更换；检查进气过滤器滤芯是否有杂质堵塞影响抽速及真空度。一定严格按照保养指导书进行保养；或者根据实际使用工况进行保养。
浅谈螺杆真空泵
螺杆转子是螺杆真空泵中关键的抽气部件，直接决定着泵的工作性能和使用寿命，其加工制造成本约占整个螺杆泵总成本近一半。螺杆转子的设计与制造则是整个螺杆泵生产中的关键技术之一，也是国内各企业开发、研制螺杆真空泵过程中所普遍面临的技术难题。由于螺杆真空泵螺杆转子的设计理论尚不够成熟，且有技术保密因素，致使关于螺杆真空泵转子设计的公开资料十分稀少。国内不同单位中从事螺杆真空泵开发研制的研究学者和技术人员，大多是从基础原理出发，开展研究工作，发现和解决开发工作中所遇到的一个个技术难题，制约了国内螺杆真空泵开发生产的速度与水平的提高。
安捷伦真空泵维护保养
1.根据需耍检杏油位，至少每列一次，
2.报椐具体应用更换油，3-6个月，
3.每次史换油.检测并淸洁入口过滤器.
4.每年淸洁或更換气奨过滤器，
5.每年消洁马达风扇盖子和外壳，
6.消洁和对泵做检資并根据需要更换叶片，3-4年左右
7.更换电咨器.4年左右
8.测试马达状况，4年左右，
■保养前，洁泵体，切断电源，it泵冷却，换_F的密封件不要屯复使用，
■保养后，确认转向，检杏泄玆，打开气镇阀运行1,5-2,5h +关闭气镇阀运行0,5h
油旋片式真空泵
油旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分。当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A 的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，然后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空。
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