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EUV光刻用薄膜的电阻率和发射率研究
汉阳大学和德克萨斯大学达拉斯分校的新技术。
“薄膜是一种薄膜结构,可保护极紫外 (EUV) 掩模在曝光过程中免受污染。然而,由于极紫外光子的吸收,其有限的透射率会引起不必要的加热。EUV薄膜的可以通过提高其热稳定性来避免,这是通过提高薄膜的发射率来实现的。然而,薄膜的发射
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视频作者:广州同创芯电子有限公司
EUV光刻用薄膜的电阻率和发射率研究
汉阳大学和德克萨斯大学达拉斯分校的新技术。
“薄膜是一种薄膜结构,可保护极紫外 (EUV) 掩模在曝光过程中免受污染。然而,由于极紫外光子的吸收,其有限的透射率会引起不必要的加热。EUV薄膜的可以通过提高其热稳定性来避免,这是通过提高薄膜的发射率来实现的。然而,薄膜的发射率数据在文献中并不容易获得,其值对厚度非常敏感。因此,我们研究了发射率对结构参数的依赖性,例如厚度、表面粗糙度和晶粒尺寸。我们使用理论和实验方法发现了电阻率和发射率之间的相关性。通过改变Ru薄膜的晶粒尺寸,使用 Lorentz-Drude 模型对电阻率和发射率之间的关系进行了实验验证和确认。后,我们提出了一种开发具有更好热稳定性的 EUV 薄膜的方法,该薄膜可以承受高功率 EUV 光源。”
厦门迎2个重磅“芯”平台
据厦门日报报道,近日,福建省集成电路产教融合发展联盟正式成立。该联盟由厦门大学发起,已发动福建省10余家高校、50余家企业、10余家研究机构及行业协会,共约100家单位组成。联盟届理事长由厦门大学委张荣担任。
该联盟致力于解决福建省集成电路产业人才供给与需求错位、产教脱节问题;充分发挥联盟成员在产教协同育人、技术研发与应用等方面的优势,推动基础技术和产业相关环节协同发展;切实加强集成电路产业人才的有效供给,为促进福建省集成电路产业的高质量发展贡献力量
Wi-Fi 6无线网络芯片形成主流规格,逐步替代代Wi-Fi 5
据台媒《电子时报》报道,瑞昱指出,客户不断调整库存水平和策略,公司预计第三季度库存水平将继续上升,但对下半年的运营仍保持谨慎乐观,预计将好于上半年。
据悉,瑞昱第二季度营收达305亿元新台币,季增2.5%,年增18%,毛利率下降至50.2%,季减2%,年减0.2%,净利润为46.2亿元新台币,季减12.9%,年增16.6%。
对于第二季度毛利率下降的原因,瑞昱认为是上游代工成本增加所致,预计短期内仍将持续。但是,该公司对其长期利润率仍然充满信心。
此前瑞昱表示,Wi-Fi 6无线网络芯片去年在个人电脑及路由器市场逐步取代Wi-Fi 5,预期在今年成为主流规格。除了精进Wi-Fi 6及Wi-Fi 6E的设计与开案外,也将致力于开发Wi-Fi 7产品。
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