洁净室检测结果评定
1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限，即A≤级别界限，则判符合规定。（采样点>9个)
2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限，则判符合规定。（采样点≤9个)
3.凡是1、2规定不相符合，则判不符合规定。100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。其余洁
洁净室检测标准
洁净室检测结果评定
1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限，即A≤级别界限，则判符合规定。（采样点>9个)
2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限，则判符合规定。（采样点≤9个)
3.凡是1、2规定不相符合，则判不符合规定。100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。其余洁净级别，≥0.5um:2.83L/次，≥5um:2.83L/次
洁净室检测
1.沉降菌检测：将营养琼脂培养基培养皿编号，把洁净工作台玻璃门向上拉起20-25厘米，按从左至右的顺序摆放培养皿（见附图）。计时30分钟取出，放入30-35度培养箱中培养48小时，记录沉降菌落数。操作按《沉降菌检测标准操作规程》。
2.尘埃粒子计数器的操作按《尘埃粒子计数器使用标准操作规程》进行。按从左至右的顺序进行采样（见附图），数据统计按《尘埃粒子计数器使用标准操作规程》数据分析进行统计计算。
3.热球风速仪使用操作按《热球风速仪使用标准操作规程》
4. 紫外线强度的检测操作按《紫外线强度检测标准操作规程》
洁净室工作服检测
（1）ASTM-F-51法(显微镜法)测试探头装有过滤隔膜，直接连接吸风计量泵，通过的空气量为28L/min。测试时使空气通过试验衣料，将空气中含有的发尘粒子捕到试验用的滤膜上，用400倍显微镜观察并统计尘埃粒子数。读出滤膜上面的0.5-5以及5以上的粒子个数。在滤膜上面印有3.08mm的格子，可以读出一个格子内的粒子数。
（2）ASTM-F-51修订法(计数法)使空气通过试验衣料，用粒子计数器测定发尘粒子的大小和个数。把试样放置在带金属网的台架上，用采样器(用47mm的过滤器支架代替)接触吸引，通过的空气量为28L/min。
（3）振动法把试样放在小室内，通过振动扭转产生粒子，用粒子计数器测定。同时，对粒径大的粒子(25以上)捕集到滤膜上，读出粒子个数。风量为3.5英尺/分(0.099m/mim)，振动次数为150次/分。
（4）滚桶法(Helmke Drum Test)把试样放入一个侧面开口的旋转的滚桶内旋转，从粒桶内对发尘粒子采样，用粒子计数器测定粒子个数后决定洁净度的级别。旋转滚筒尺寸为43cm×33cm，在桶的内侧有4个叶片，桶的转数为10转/分。
洁净室的气流组织
洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口，以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势，与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后，侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险，使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离，也是必要措施之一。
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慧宇昊（北京）检验检测中心有限公司
陈伟涛(True) / |
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