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EUV光刻用薄膜的电阻率和发射率研究
汉阳大学和德克萨斯大学达拉斯分校的新技术。
“薄膜是一种薄膜结构,可保护极紫外 (EUV) 掩模在曝光过程中免受污染。然而,由于极紫外光子的吸收,其有限的透射率会引起不必要的加热。EUV薄膜的可以通过提高其热稳定性来避免,这是通过提高薄膜的发射率来实现的。然而,薄膜的发射
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视频作者:广州同创芯电子有限公司
EUV光刻用薄膜的电阻率和发射率研究
汉阳大学和德克萨斯大学达拉斯分校的新技术。
“薄膜是一种薄膜结构,可保护极紫外 (EUV) 掩模在曝光过程中免受污染。然而,由于极紫外光子的吸收,其有限的透射率会引起不必要的加热。EUV薄膜的可以通过提高其热稳定性来避免,这是通过提高薄膜的发射率来实现的。然而,薄膜的发射率数据在文献中并不容易获得,其值对厚度非常敏感。因此,我们研究了发射率对结构参数的依赖性,例如厚度、表面粗糙度和晶粒尺寸。我们使用理论和实验方法发现了电阻率和发射率之间的相关性。通过改变Ru薄膜的晶粒尺寸,使用 Lorentz-Drude 模型对电阻率和发射率之间的关系进行了实验验证和确认。后,我们提出了一种开发具有更好热稳定性的 EUV 薄膜的方法,该薄膜可以承受高功率 EUV 光源。”
Wi-Fi 6无线网络芯片形成主流规格,逐步替代代Wi-Fi 5
据台媒《电子时报》报道,瑞昱指出,客户不断调整库存水平和策略,公司预计第三季度库存水平将继续上升,但对下半年的运营仍保持谨慎乐观,预计将好于上半年。
据悉,瑞昱第二季度营收达305亿元新台币,季增2.5%,年增18%,毛利率下降至50.2%,季减2%,年减0.2%,净利润为46.2亿元新台币,季减12.9%,年增16.6%。
对于第二季度毛利率下降的原因,瑞昱认为是上游代工成本增加所致,预计短期内仍将持续。但是,该公司对其长期利润率仍然充满信心。
此前瑞昱表示,Wi-Fi 6无线网络芯片去年在个人电脑及路由器市场逐步取代Wi-Fi 5,预期在今年成为主流规格。除了精进Wi-Fi 6及Wi-Fi 6E的设计与开案外,也将致力于开发Wi-Fi 7产品。
ADI近期出现了一波降价浪潮 !!
1、用于光电二极管放大、电池供电仪表、多极滤波器、传感器、条码扫描器、音频#AD8606ARMZ、#AD8606ARZ,价格已经下降。
2. #AD8657ARMZ-R7在不久的将来呈下降趋势。
3、用于加热器控制、#LED调光控制、便携式及#battery供电设备#LTC6992系列产品,市场缺货严重,近期价格持续上涨。
4. Maxim和ADI将于2022年8月正式合并,行业交付时间延长40-50周。#DS3234系列和#ADUM系列正面临严重短缺,交货时间长和创纪录的价格。
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