电子光学系统包括电子、电磁透镜、扫描线圈、样品室等电子光学系统包括电子、电磁透镜、扫描线圈、样品室等,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子的扫描电镜上,电磁透镜。通常会装配两组:汇聚透镜和物镜,汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成象会焦无关;物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。扫描线圈的作用是使电子束偏转,并在样
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电子光学系统包括电子、电磁透镜、扫描线圈、样品室等
电子光学系统包括电子、电磁透镜、扫描线圈、样品室等,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子的扫描电镜上,电磁透镜。通常会装配两组:汇聚透镜和物镜,汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成象会焦无关;物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。
扫描线圈的作用是使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动,电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步,因为它们是由同一扫描发生器控制的。

电子束引致电流(Electron
电子束引致电流(Electron-beam induced Current , EBIC):当一个p-n接面(Junction)经电子束照射后,会产生过多的电子-空位对,这些载子扩散时被p-n接面的电场收集,外加线路时即会产生电流。阴极发光(Cathodoluminescence):当电子束产生之电子-空位对再结合时,会放出各种波长电磁波,此为阴极发光(CL),不同材料发出不同颜色之光。样品电流(Specimen Current):电子束射到样品上时,一部份产生二次电子及背向散射电子,另一部份则留在样品里,当样品接地时即产生样品电流。

Ti-6Al
Ti-6Al-4V 合金经过热处理以改变其微观结构中 α 和 β 相的数量,微观结构将根据确切的热处理和加工方法而显著变化(三种常见的热处理工艺是轧机退火、双相退火和固溶处理和时效)。借助飞纳台式扫描电镜的 EDS-mapping 功能,可以获得各相中元素含量、分布状态,通过不同相中相稳定元素含量的差异(α 相中常固溶 Al、Sn,β 相中常固溶 V、Cr 等)及 BSE 图片的衬度差异能够分析 α 相和 β 相的微观结构。

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