微区成分分析而言,分辨率指能分析的小区域对微区成分分析而言，分辨率指能分析的小区域；对成像而言，它是指能分辨两点间的小距离。SEM分辨率主要受三方面影响：入射电子束束斑直径、入射电子束在样品中的扩展效应、成像方式及所用的调制信号。二次电子像的分辨率约为5-10nm，背散射电子像的分辨率约为50-200nm。一般来说SEM分辨率指的是二次电子像的分辨率。放大倍数：M = L/I，其中L是显像管尺寸，
天津场发射扫描电镜型号
微区成分分析而言,分辨率指能分析的小区域
对微区成分分析而言，分辨率指能分析的小区域；对成像而言，它是指能分辨两点间的小距离。SEM分辨率主要受三方面影响：入射电子束束斑直径、入射电子束在样品中的扩展效应、成像方式及所用的调制信号。二次电子像的分辨率约为5-10nm，背散射电子像的分辨率约为50-200nm。一般来说SEM分辨率指的是二次电子像的分辨率。
放大倍数：M = L/I，其中L是显像管尺寸，I是光栅扫描时相邻两点间距。M通过调节扫描线圈电流进行，电流小则电子束偏转角度小，放大倍数增大。放大倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分析样品的需要进行选择，与分辨率保持一定关系。
仪器设计了阶段式真空(stepvacuum)
平时操作，若要将样品室真空亦保持在10-8pa(10-10torr)，则抽真空的时间将变长而降低仪器的便利性，更增加仪器购置成本，因此一些仪器设计了阶段式真空(step vacuum)，亦即使电子、磁透镜及样品室的真空度依序降低，并分成三个部份来读取真空计读数，如此可将样品保持在真空度10-5pa的环境下即可操作。平时待机或更换样品时，为防止电子污染，皆使用真空阀(gun valve)将电子及磁透镜部份与样品室隔离，实际观察时再打开使电子束通过而打击到样品。
光圈衍射像差(Aperturediffraction)
光圈衍射像差(Aperture diffraction):由于电子束通过小光圈电子束产生衍射现象，使用大光圈可以改善。色散像差(Chromatic aberration):因通过透镜电子束能量差异，使得电子束聚焦后并不在同一点上。
电子束和样品作用体积(interaction volume)，作用体积约有数个微米(μm)深，其深度大过宽度而形状类似梨子。此形状乃源于弹性和非弹性碰撞的结果。低原子量的材料，非弹性碰撞较可能，电子较易穿进材料内部，较少向边侧碰撞，而形成梨子的颈部，当穿透的电子丧失能量变成较低能量时，弹性碰撞较可能，结果电子行进方向偏向侧边而形成较大的梨形区域。
钛合金具有比强度高、耐腐蚀性好、耐热性好等诸多优点
虽然钛合金具有比强度高、耐腐蚀性好、耐热性好等诸多优点，但单一的钛合金材料在实际应用中也存在很多缺点，比如表面硬度较低、摩擦系数高、易磨损、高温（600 ℃ 以上）易氧化等[2,3]。这使钛合金作为关键运动副零部件，尤其是在高温环境工作时，表面易发生氧化腐蚀和严重磨损，在生产应用中，常需要通过表面处理技术，使钛合金在保持高比强度的同时，具有优异的和高温化性能[4]。
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