无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。另外若系统停止运转再重启，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标
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无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。另外若系统停止运转再重启，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
无尘室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。无尘室内防止微粒子污染的基本原则：不携入在无尘室内不携入微粒子的方法有：作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是俗称的1K级别。
洁净厂房无尘室测试目的是什么呢其中很大部分业主都是根据净化工程开始的设想来完成测试的指标，当然这是直截了当的目标及方法，毕竟我们在建设无尘室的意愿也是如此，要达到我们的空气洁净度有需求。在单流向型无尘室，风速测量的位置可由业主预定，一般是在滤网表面或是工作高度。但是需注明是滤网风速测量（滤网表面）或是无尘室室内风速测量（工作高度）。洁净厂房，无尘室，洁净室--洁净厂房无尘室测试目的。特别要保证气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍物的话，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法排除而长时间漂流在无尘室内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
影响无尘室的气流因素很多，如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部分的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。
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