真空镀膜加工的滤片透射率
由于全介质多层反射膜只在有限的区域是有效的,因此滤光片透射率峰值的两边会出现旁通带.在大多数应用中需要将它们弄掉.短波旁通带只要在滤光片上叠加一块长波通吸收玻璃滤光片便很容易去掉,但是很不容易得到短波通吸收滤光片、有些可供利用的吸收滤光片虽然能有效地长波旁通带,但因其短波方面的透射率太低,大大降低了整个滤光片的峰值透射率.解决这个问题的满意的办法
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真空镀膜加工的滤片透射率
由于全介质多层反射膜只在有限的区域是有效的,因此滤光片透射率峰值的两边会出现旁通带.在大多数应用中需要将它们弄掉.短波旁通带只要在滤光片上叠加一块长波通吸收玻璃滤光片便很容易去掉,但是很不容易得到短波通吸收滤光片、有些可供利用的吸收滤光片虽然能有效地长波旁通带,但因其短波方面的透射率太低,大大降低了整个滤光片的峰值透射率.解决这个问题的满意的办法是干.脆不用吸收滤光片,而是把后面将要讨论的诱导透射滤光片作为截止滤光片使用、由于诱导透射滤光片没有长波旁通
真空镀膜加工的科学蒸镀
真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩,并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统,通过真空阀门对工作室抽真空。气体通过针阀进人真空室,底盘上有真空测试用的规管。利用.上述的抽气系统可以使工作室的真空度达10-9~10-*Pa以上,采用加热器烘烤基片以便去除基片上吸附的气体。镀膜材料是通过电阻加热的蒸发源来蒸发的,它们可以呈丝状或加工成舟状。镀膜材料呈“游标”状态悬挂着或缠绕在蒸发源丝的上
镀膜材料一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。
真空镀膜主要利用辉光放电将气离子撞击靶材表面,靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好,但是镀膜速度却比蒸镀慢很多。
什么是真空镀膜加工
简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。
众所周知,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代,在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。
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