干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质,从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。
干式螺杆真空泵出现于上世纪90年代初,由于它具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点,因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到广泛应用。
纸托厂真空泵安装
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干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质,从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。
干式螺杆真空泵出现于上世纪90年代初,由于它具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点,因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到广泛应用。
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干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。纸托厂真空泵安装
螺杆真空泵的密封难点主要在于转轴与泵盖处的动密封部件。动密封的密封装置也主要分为三处:首先是传动轴轴伸通过齿轮箱盖与前盖处的密封;其次是排气口侧传动轴通过泵前端盖处的动密封;第三处就是进气口侧传动轴通过泵后端盖的动密封。
与现有技术相比,本适用新型具有以下优点:
1、螺杆转子与螺杆转子之间以及螺杆转子与壳体之间的间隙沿进气端到排气端的方向依次减小,使螺杆转子稳定工作后有足够的收缩空间,防止螺杆转子卡壳,而且收缩后它们的间隙更小,气体的走漏量更少,抽真空效果更好。
2、螺杆转子采用螺纹小径均相同,螺纹大径沿进气端到排气端方向依次减小的设计,既降低了螺杆转子的加工难度,降低了消费本钱,而且在稳定工作时,螺杆转子之间的间隙更小更平均,减少了气体走漏。
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