台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。 电子光学系统:电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。 电子:其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。 电磁透镜:其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小,使原
天津不导电样品电镜测试
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。
电子光学系统:电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。
电子:其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。
电磁透镜:其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小,使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。
扫描线圈:其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。

扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用
扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。
原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对X射线的采集,可得到物质化学成分的信息。

台式扫描电镜图像的成像信息
在实际工作中要采集到一幅好照片,除了要有好的台式扫描电镜设备之外,选择合适的加速电压值也是很重要的一步。选择高、低不同的加速电压各有不同的优缺点,通常应根据试样的组分和分析目的的不同来考虑,即金属试样一般会选择较高的加速电压,轻元素组成的试样一般会选择较低的加速电压。
台式扫描电镜图像的成像信息来源越趋于表面,图像的表面细节就越显得丰富、细腻,特别是会明显减少边缘效应,使得到的图像显得更协调、柔和。另外,低加速电压、小束斑对试样表面的损伤小,不容易造成试样的荷电和图像的漂移,也会减轻对试样的损伤。

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