洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
无尘衣、鞋、帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在洁净室内进行，并以纯水配合清洁溶剂，并经约0.2μm过滤器为之，一般洗涤周期视清洁度等级而定，在高洁净区为2～3天，其他区域则为5天～1星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洗涤衣置放场所须为洁净室，备用品或新品存放柜内，正使用者则吊挂衣架上，以为方便取用。
洁净室净化工程检测仪器的选用：虽然对净化车间内的洁净度的丈量，可以选用净化工程光散射粒子计数器、凝结的核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但现在用得多的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应丈量，并且可以直接显现瞬时的含尘浓度，也可以对不同粒径的含尘浓度进行丈量，使用简单、方便、及时、灵敏。
关于洁净室等动力采样的问题：所谓等动力采样就是在检测时，粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致，并且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。由于对净化工程的检测咱们主要关心两种粒径，即0.5um和5um。非等动力采样关于≤0.5um的粒子影响不大。假如取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，假如这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。
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