洁净度检测-采样
所用的采样管必须处理干净,与粒子计数器和采样器连接处必须严密无渗漏。采样管的长度控制在1.5m范围内。采样管的流速,要与洁净室断面风速相接近,使之成为等动力流速采样。对于大流量粒子计数器,为了降低采样管的进口空气速度能维持在0.5m/s左右,应配以采样头,否则将会出现灰尘微粒计数偏低现象。如粒子计数器无配套的采样器时,可按下式计算自行制作一个异径管(大小
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洁净度检测-采样
所用的采样管必须处理干净,与粒子计数器和采样器连接处必须严密无渗漏。采样管的长度控制在1.5m范围内。采样管的流速,要与洁净室断面风速相接近,使之成为等动力流速采样。对于大流量粒子计数器,为了降低采样管的进口空气速度能维持在0.5m/s左右,应配以采样头,否则将会出现灰尘微粒计数偏低现象。如粒子计数器无配套的采样器时,可按下式计算自行制作一个异径管(大小头)
洁净室检测技术
亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染(范畴谓之)。人是污染源的发源地:人体每分钟散发10万个粒子(粒径≥0.5μm)。每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80%。
洁净室噪音度检测
一、检测准备,竣工图面(初版)与相关规范确认洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡,并已连续运转24小时以上。洁净室环境需清洁完成。
二、测试目的,此检测动作在于确认无尘室噪音是否有达到设计要求。
三、测试仪器,噪音仪
四、测试位置,每40m2取1点为量测点,另针对业主要求局部增加测试点数。
五、测试步骤:
a.无尘室所有空调设备及公用设备均为运转状态。
b.确认测试点及配置图编号。
c.将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度,高度量测10秒后记录大值。
洁净室照度检测
应该在洁净室每个工作地点(例如书桌、工作台)测量照度,然后加以平均。对于没有确定工作地点的空房间或非工作房间,如果单用一般照明,通常选 0.8m 高的水平面作为照度测量面。将测量区域划分成大小相等的方格(或接近方形),测量每格中心的照度 Ei ,则平均照度等于各点照度的算术平均值。照度的不均匀度计算,照度是指洁净室内照明全开时,室内小照度与平均照度的比值,它是评价照度均匀性的一个重要指标。
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