由于电子本能会寻求稳定，外层L层或M层的电子会进入弥补内层的空间。在这些电子从外层进入内层的过程中，它们会释放出能量，我们称之为二次X射线光子。而整个过程则称为萤光辐射。每种元素的二次射线都各有特征。而X射线光子萤光辐射产生的能量是由电子转换过程中内层和外层之间的能量差决定的。例如，铁原子Fe的Kα能量大约是6.4千电子伏。特定元素在一定时间内所出来的X射线的数量或者密度，能够
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由于电子本能会寻求稳定，外层L层或M层的电子会进入弥补内层的空间。在这些电子从外层进入内层的过程中，它们会释放出能量，我们称之为二次X射线光子。而整个过程则称为萤光辐射。每种元素的二次射线都各有特征。而X射线光子萤光辐射产生的能量是由电子转换过程中内层和外层之间的能量差决定的。例如，铁原子Fe的Kα能量大约是6.4千电子伏。特定元素在一定时间内所出来的X射线的数量或者密度，能够用来衡量这种元素的数量。典型的XRF能量分布光谱显示了不同能量时光子密度的分布情况。
其显著优势主要有
更快---全程无损分析，一到三分钟即可出结果（可实时刷新测试结果）
更准---强大的基于Windows的FP（基本参数算法）软件降低了基体元素间吸收增应，并同时考虑到不同基体对光谱强度变化的干扰，把测试准确度提高到了新的水平
更稳---使用新的硅漂移检测器SDD可得到更好的测试稳定性和长期重复性，该款检测器可在相同样品激发条件下获得更高的光谱强度（计数率CPS）。
特点编辑 播报——现场检测，无损，无需送抵实验室，大大提率——分析速度较台式光谱仪快很多，仅几秒钟就可显示分析结果——体积小，重量轻，携带方便 由Moseley定律可知，只要测出荧光X射线的波长,就可以知道元素的种类,这就是荧光X射线定性分析的基础。此外,荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系,据此,可以进行元素定量分析。X射线探测器将样品元素的X射线的特征谱线的光信号转换成易于测量的电信号来得到待测元素的特征信息。
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