洁净室检测压差的测试
（1）应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。
（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。
（4）所测量记录的数据应到 1.0Pa。
（1）先关闭所有的门。
（3）记
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洁净室检测压差的测试
（1）应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。
（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。
（4）所测量记录的数据应到 1.0Pa。
（1）先关闭所有的门。
（3）记录所有数据。
（1）不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于5Pa。
（3）对于空气洁净度等级严于 5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
洁净室工作服检测
（1）ASTM-F-51法(显微镜法)测试探头装有过滤隔膜，直接连接吸风计量泵，通过的空气量为28L/min。测试时使空气通过试验衣料，将空气中含有的发尘粒子捕到试验用的滤膜上，用400倍显微镜观察并统计尘埃粒子数。读出滤膜上面的0.5-5以及5以上的粒子个数。在滤膜上面印有3.08mm的格子，可以读出一个格子内的粒子数。
（2）ASTM-F-51修订法(计数法)使空气通过试验衣料，用粒子计数器测定发尘粒子的大小和个数。把试样放置在带金属网的台架上，用采样器(用47mm的过滤器支架代替)接触吸引，通过的空气量为28L/min。
（3）振动法把试样放在小室内，通过振动扭转产生粒子，用粒子计数器测定。同时，对粒径大的粒子(25以上)捕集到滤膜上，读出粒子个数。风量为3.5英尺/分(0.099m/mim)，振动次数为150次/分。
（4）滚桶法(Helmke Drum Test)把试样放入一个侧面开口的旋转的滚桶内旋转，从粒桶内对发尘粒子采样，用粒子计数器测定粒子个数后决定洁净度的级别。旋转滚筒尺寸为43cm×33cm，在桶的内侧有4个叶片，桶的转数为10转/分。
洁净室泄漏检测
1.于ULPA上游侧，测定一次侧之外气或回风浓度，以决定微尘粒子通过ULPA之容许渗透值（可以ULPA本身之透过率或率,计算之间。
2.距 ULPA测试面下方30—50MM处，以微尘粒子计数器设定30—50M /M每秒;之速度量测之,每量测距离间距5OM / M，其量测方向为由外围渐次向内，
3.在防侦烟器等部分均必须做量测。将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。
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