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潽拓——{精}，分子泵 广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养 主要特性和优势 占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
爱德华分子泵控制器型号


潽拓——{精}，分子泵


广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养






主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。

受zhuanli保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。





广州潽拓——爱德华IPX100真空泵维修 BOC EDWARDS IPX100 PUMP Overhaul


广州潽拓光电科技有限公司——提供Edwards爱德华ESD/GVSP/XDS/nXDS系列涡旋干泵，XDD/D-LAB系列隔膜泵/GXS系列干式螺杆真空泵，EPX/IPX/GV/GX/iF/iH/iL/iLs/Igx/iXH/iXL/iXS/pXH系列半导体干泵，EH/HV系列罗茨泵，Stokes 6系列机械增压泵，CDX/CXS系列化学干泵，GV系列爪式真空干泵的维修、保养服务。维修流程完善，长期备有原厂维修配件,为客户提供良好的服务！




广州潽拓光电——Edwards EXT70H 24V爱德华分子泵维修 Edwards EXT70H



Edwards EXT70H 复合分子泵的电气接口及DN 16 的抽气接口


爱德华的Edwards EXT70H分子泵是专为超高真空设计的，其内部涡轮转子是专门为高真空

开发的，层数较普通的 EXT70要多很多






该图片就是 Edwards EXT 70H 24V Code：B722-26-991 对应口径ISO100

复合分子泵，是英国爱德华真空为分析仪器专门设计的分子泵， Edwards EXT70H 24V 复合

分子泵，是专为超高真空设计的

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