真空镀膜加工的科学蒸镀
真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩,并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统,通过真空阀门对工作室抽真空。气体通过针阀进人真空室,底盘上有真空测试用的规管。利用.上述的抽气系统可以使工作室的真空度达10-9~10-*Pa以上,采用加热器烘烤基片以便去除基片上吸附的气体。镀膜材料是通过电阻加热的蒸发源来蒸发的,它们可以呈丝状
派瑞林涂层公司
真空镀膜加工的科学蒸镀
真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩,并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统,通过真空阀门对工作室抽真空。气体通过针阀进人真空室,底盘上有真空测试用的规管。利用.上述的抽气系统可以使工作室的真空度达10-9~10-*Pa以上,采用加热器烘烤基片以便去除基片上吸附的气体。镀膜材料是通过电阻加热的蒸发源来蒸发的,它们可以呈丝状或加工成舟状。镀膜材料呈“游标”状态悬挂着或缠绕在蒸发源丝的上
在真空镀膜加工中环保的说明
五、真空电镀加工的表面硬度高 化学镀镍层的硬度一般在HV300-600,高的甚至可达到HV700以上,而电镀镍的硬度仅为 HV160-180,显然化学镀镍层的硬度要远大于电镀层的硬度.而其化学镀镍层经过一定的热处理后,其硬度还可以提高,可达HV900以上。
六、自润滑性好 经合金镀液处理过的金属表面是一种非晶态,即处于基本平面状态,有自润滑性,因此摩擦 系数小,非粘着性好。
对于已清洗过、不能存放于大气环境的洁净表面,应采用密封容器或保洁箱储存,减少尘垢。在新氧化铝容器中储存玻璃底板,可以将对烃类蒸汽的吸附降到Z低。这样的容器更倾向于吸附烃类。对于高不稳定性、对水汽敏感的真空镀膜加工,一般应储存在真空干燥箱中。
薄膜和基体选材广泛,薄膜厚度可进行控制,以制备具有各种不同功能的功能性薄膜。在真空条件下制备薄膜,环境清洁,薄膜不易受到污染,因此可获得致密性好、纯度高和涂层均匀的薄膜。
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