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热式气体质量流量控制器与流量计对安装方向的要求

厚礼博生产的AC系列、DC系列以及BDD系列的热式气体质量流量控制器/流量计能满足市面上大多数用户的使用需求，具有体积小，数字化程度高，安装方便，响应速度快，测量准确等优点，能直接测量和控制介质的质量流量，无须温压补偿；设计、选型、安装、使用方便简便，适合各类单一或混合气体流量测量。

热式气体质量流量控制器MFC为Mass Flow Controller的缩写，即质量流量控制器，是带有控制气体质量流量的装置。热式气体质量流量计MFM为Mass Flow Meter的缩写，即质量流量计是不具有控制气体质量流量功能的装置，热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的新型仪表。可用于石油、化工、钢铁、冶金、电力、轻工、环保等工业部门的空气、烃类气体、可燃性气体、烟道气体的监测。

随着生产技术的日益发展和进步，本公司生产的热式气体质量流量控制器与流量计在安装的时候，对安装方向已无特定要求，可任意方向位置安装，如果用户订货时注明安装位置，我公司可依此标定后出厂。

AC系列、DC系列、BDD系列的气体质量流量控制器和质量流量计产品的正常工作压力范围可选：3MPa、5MPa、10Mpa，产品精度优于±1%F.S，响应速度优于2秒且流量值稳定速度也是极快的。阀体过流材质均选用良好的316L不锈钢。供电方式为+15V—24V的宽频供电，能满足市面上绝大多数用户的使用要求和使用习惯。DB9针的电气接头，也方便了用户在使用时的拆装。

热式气体质量流量控制器主要是用来控制各种气体的不同流量，用户一般使用的气源气体浓度为999，有些是9999。那么有些用户在使用超低浓度的气体时，是否还能用热式气体质量流量控制器来控制吗？低浓度的气体流经和通过流量计的时候，是否需要注意哪些问题呢？以及对气体的浓度有什么影响吗？

流量控制器

紧凑而坚固的仪器设计，为连续质量流量测量确保了重复性，用途非常广泛，可用于许多不同的行业和应用。安装位置以及安装方向对质量流量的检测无任何影响，即可随意安装且无直管段要求。本公司生产和销售的质量流量计和控制器过流阀体均采用316L不锈钢的材质，稳定性好，接触各种气体时很少会发生反应，故是适用于绝大多数的气体。在使用低浓度气体时，用户在订货时需特殊说明一下，本公司会根据实际使用，来选择相对应的密封材质，从而达到更好的适配性。即使是低浓度的气体，在通过流量计的时候，也是不会有吸附或干扰性的。

气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用

真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。

热式气体质量流量计

热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。

质量流量控制器

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结