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气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用

真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。

热式气体质量流量计

热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。

质量流量控制器

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，经历成膜过程，形成薄膜。

质量流量控制器用在哪些地方？

气体质量流量计和控制器能用来测量单一气体的结构，紧凑的气体质量流量计和控制器能用来测量和控制多种气体高度集成的定制阀组。主要的技术优点：基于热式毛细管技术，模块化的设计；极其紧凑的尺寸；，线性和重复性稳定；响应时间；多种气体/多量程范围可选。

氦气，是一种稀有气体，化学式为He，因现在氦气在各行业中的广泛使用，因此控制气体的流量与大小，在节能减排、控制成本方面有重大意义。热式气体质量流量控制器为一款的气体控制设备，能很好的控制气体的进气质量，气体流量的大小也不受温度和压力的变化影响，是一款稳定的气体质量流量控制仪器。

氦气为无色无味的惰性气体，化学性质不活泼，一般状态下很难和其他物质发生反应。一般用在以下行业中：

1、氦气可作为燃料的压送剂和增压剂。

2、氦用作冶炼及焊接时的保护气体，这在钢铁冶炼等行业的制造方面非常重要。

3、氦气有优良的渗透性， 用于一些管道及电子和电气装置等的检漏和气密性测试中。

4、氦气是具有理想气体性质的气体，是极低温度下蒸气压温度计的理想用气。

5、氦气的质量密度、重量密度都低，可用来填充灯泡、霓虹灯管，也是理想的气球及飞艇用气。

6、氦气惰性气体的一种，可将氦气与氧气混合，作为呼吸用气体。

数字型和模拟型的流量控制器的控制方法

热式流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表。即利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者