净化车间水系统平衡调试洁净室施工
1.完成平衡调试的准备工作。
2.启动并联冰水泵(P1及P2)。注:冰水机可不启动运转。
3.首先测量记录主管平衡阀(M)的总流量及流量比(FR)。
注:若总流量设计流量,可能是常开(Normallyopen)阀、平衡阀及温控调节阀等未全开,或管路中气堵,或(y型)过滤器堵塞,或设计扬程不足等原因。
4.其次逐一测量记
洁净室施工
净化车间水系统平衡调试洁净室施工
1.完成平衡调试的准备工作。
2.启动并联冰水泵(P1及P2)。注:冰水机可不启动运转。
3.首先测量记录主管平衡阀(M)的总流量及流量比(FR)。
注:若总流量设计流量,可能是常开(Normallyopen)阀、平衡阀及温控调节阀等未全开,或管路中气堵,或(y型)过滤器堵塞,或设计扬程不足等原因。
4.其次逐一测量记录其他所有平衡阀的流量及FR值,此时远端设备管阀(例如3U9),可能测不到流量,暂不处理。注:无测量顺序要求。
5.由步骤4的记录中,找出FR值的区域管平衡阀(例如Z1,通常是离水泵近者,但可能例外)。
6.由步骤4的记录中,找出区域管平衡阀Z1中,FR值的支管阀(例如1B1),此支管即是应进行平衡调整的管路。
注:前置测量的结果,即是TAB作业前的水系统状态,可用来与TAB作业后的结果做比较,以了解TAB作业的水泵节能效益。
无尘车间FFU|芯片制造环境与工艺良品率洁净室施工
在关键技术和“卡脖子”领域,正在全力打造集成电路高地和集成电路产业发展,在芯片制造领域,中芯国际、华虹集团年销售额在国内位居前两位,14纳米和28纳米工艺已分别实现了量产。洁净室行业某FFU供应商为国内芯片行业企业做配套服务,提供末端洁净设备。
洁净室环境直接影响芯片制程工艺良品率。芯片的制造要用到数百个步骤,整个过程中温度、空气洁净度受到非常严格的控制,在这种环境的无尘室,通过各种机械设备,将晶圆片不断的流转进行加工,经过严格的制程和严格的无尘环境下完成封装芯片。众所周知,空气中本就充满尘埃,细小到肉眼不可见,但是这些尘埃如落在生产芯片的环境中,对于每一个晶体管的体积它就是很大颗粒了,在制程中尘埃或者污染物落到晶圆上,会造成芯片的短路及烧损等其他不良。
因此保证芯片的高良率,就要保护它的高生产环境和洁净度!
洁净室的改造要点参考洁净室施工
对于规模比较小的生产运作,如何在有限的预算内对现有的空间进行改造升级、达到工艺的要求?
在当前的经济形势下,随着各行各业对纳米技术的研究和分析投入明显增加,针对小规模洁净实验室的需求呈现明显的增长势头。在制造业、企业的研发中心和学术单位的研究机构中,需要大量的这种小规模洁净实验室。不管是供汽车和包装材料使用的复合材料,在涂料、光学、生物和化学检测系统中,在剂中,还是用于、给药、成像技术、诊断和监测等应用上,它们都需要大量的新型洁净室,这是在过去未曾遇到的。
很多时候,这些洁净实验室都是在现有空间的基础上进行改造。近,我们注意到很多公司和研究机构正在考虑租用工厂作为新型受控实验室使用。有的公司甚至打算把租来的、原本不是作为实验室使用的工厂改造成洁净实验室,更不用说改成洁净室了,这使问题变得更复杂。对大部分公司和研究所来讲,对现有工厂进行改造和升级或更新租用的工厂,有许多相同的问题,本文将对部分问题展开讨论。
在评估一个可能成为实验室的空间时,首先要考虑的是如何才能使现有的建筑按照相应的程序达到预期的功用,使之符合实验室的要求。简而言之,先要明确实验室所需遵循的程序。然后,对实验室程序进行分类,可以分为以下五种。每一套程序都有各自需要关注的问题。
PCR实验室设计的一些经验洁净室施工
洁净室施工试剂配制室及样品处理室宜呈微正压,以防外界含核酸气溶胶的空气进入,造成污染;
可以通过控制进风风量大于排风风量达到正压效果。
核酸扩增室及产物分析室应呈微负压,以防含核酸的气溶胶扩散出去污染试剂与样品,可以通过控制排风风量大于进风风量达到负压效果。
在理想情况下,PCR实验室缓冲间内,可设置正压,使室内空气不流向室外,室外空气不流向室内。PCR实验室进风由原有空调控制,要求将空调风口安装到,且高度为地面铺装好后2600mm处。
如果使用荧光PCR仪,扩增室和产物分析室可以合并。
若房间进深允许,可设PCR内部走廊。需要指出的是在减少室内外空气交换方面,缓冲间比走廊更有意义。
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