检漏步骤为：若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片，通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。检漏仪主要技术指标：小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。漏率显围
医用过滤器测漏
检漏步骤为：若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片，通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
检漏仪主要技术指标：小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s检漏仪优势特点：采用便携式设计，设备外型美观小巧，采用液晶触摸屏设计，有通讯接口，可以方便地将检漏数据输出检漏仪对示漏气体的要求及选择：无害，不能对人体或环境造成伤害；质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝；化学性质稳定，不会引起化学反应；。
对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa。m3/s），然后对氦罩冲氦。使用氦气喷在管道密封接头，焊缝处喷氦，如果被检管道某处有泄漏，当氦喷到漏孔上时，氦气会立刻被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室内，检漏仪感应到氦就会立刻有响应。从而达到了检漏的结果。检漏设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。
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