洁净室自净能力检测
一、测试目的,确认在无尘室释放颗粒后,测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。
二、测试仪器,颗粒测试仪( MET ONE),型号:3313、2100、颗粒释放器。
三、测试位置,任意抽取测量点,也可与相关人员共同确认测试点。
四、测试步骤
1.在测试开始之前要保证净房空调系统正常运转24以上,让洁净环境达到一个稳定的水
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洁净室自净能力检测
一、测试目的,确认在无尘室释放颗粒后,测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。
二、测试仪器,颗粒测试仪( MET ONE),型号:3313、2100、颗粒释放器。
三、测试位置,任意抽取测量点,也可与相关人员共同确认测试点。
四、测试步骤
1.在测试开始之前要保证净房空调系统正常运转24以上,让洁净环境达到一个稳定的水平。
2.在抽取的测量点放好颗粒计数器,先做颗粒洁净度测试,记录该房间每立方英尺体积的空气中含有的0.3um颗粒数量,连续测试数分钟,待取一个稳定的数据,此时,再将该房间的整个空调系统全部断电。
3.在该房间内释放颗粒,使于外界非洁净区域的颗粒自使整个洁净室0.3um的颗粒浓度达到之前浓度的10或100倍。此时再启动空调系统,使其正常运行,测试该洁净室内颗粒浓度恢复到之前水平所需要的时间
洁净室检测等动力采样的问题
所谓等动力采样就是在检测时,粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致,而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。因为对净化工程的检测我们主要关心两种粒径,即0.5um和 5um。非等动力采样对于≤0.5um 的粒子影响不大。如果取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度,如果这些粒子不受非等动力条件的影响,则计算结果也不受影响。因此,净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。
洁净室压差检测
1.U 型气压计由于形状像英文大写字母 U 字而得名。实际上 U 型气压计是两个有刻度的连通的玻璃管。加入液体后,一头与大气连通,另一头与被测的气体连通。利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。结合已知的大气压数值,就可以得到被测的气压值。
2.斜管微压计可以理解为 U 型压力计的变形。一般情况,U 型压力计的玻璃管垂直读数,斜管微压计的玻璃管倾斜读数。玻璃管倾斜后,同样的压差在玻璃管中显示的距离较大,读数的度较高。所以与 U 型压力计比较,斜管微压计的读数度要高一些。斜管压力计的工作原理图如图 2-37 所示,斜管压力计通常由一个可变化倾角且带有刻度的玻璃细管和底部与其相通的容器构成。容器顶部和斜管的另一端分别设有接入口。斜管压差计由于其斜管倾斜角度 a 的的可调性,它在 a 角较小时,微小压差在斜管上就对应较长的 l 值。压差的微小变化,都能从 l 值的变化灵敏的辨认,因此常用于测微压差。
3.电子微压计一般是通过压力传感器、电子线路和显示器直接用数字显示压力的数值,如图 2-39。以膜片位移所产生的静电电容或电阻的变化,测定一个空间与其周围环境间的压差值,并显示或输出该值。常见的电子微压计与上述膜片式压力计相同之处在于,它同样是依据膜片在两侧不同压力作用下所形成的位移量来反映膜片两侧的压力差;不同之处在于它不是依据机械方式,而是依靠测定膜片位移而产生的静电电容或电阻的变化量来反映所测压差的大小。
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