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Edwards进口分子泵出售 潽拓光电

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广州潽拓维修分子泵,Edwards EPX TWIN 180L爱德华半导体真空干泵维修





技术参数:

:Edwards 型号:EPX TWIN 180L

入口法兰:ISO63 出口法兰:NW25

水接头:3/8 in 电源供给:200/208V,50/60Hz 三相

电机额度功率:3.0kw 重量:55kg


应用:

EPX系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。

EPX'L'系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台借口提供控制的清洁工作应用





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在复合分子泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,至使返流增加,抽气能力下降。因此,在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构,以提高泵的抽气性能。

随着复合分子泵的不断改进,其应用领域越来越广,在某些抽气系统上可以替代扩散泵,缩短了系统的抽气时间,并可获得





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Edwards爱德华STP-H200C分子泵维修Seiko Seiki STP-200/STP-H200C/STP-H200C1日本精工精机分子泵进气法兰口VG100/ISO100/ICF152,出气法兰口KF25,抽速可达到270L/s,转速为48000rpm,VG/ISO法兰口极限压力10-7Pa(10-9Torr),ICF法兰口极限压力10-8Pa(10-10Torr)。





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