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EUV光刻用薄膜的电阻率和发射率研究
汉阳大学和德克萨斯大学达拉斯分校的新技术。
“薄膜是一种薄膜结构,可保护极紫外 (EUV) 掩模在曝光过程中免受污染。然而,由于极紫外光子的吸收,其有限的透射率会引起不必要的加热。EUV薄膜的可以通过提高其热稳定性来避免,这是通过提高薄膜的发射率来实现的。然而,薄膜的发射
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EUV光刻用薄膜的电阻率和发射率研究
汉阳大学和德克萨斯大学达拉斯分校的新技术。
“薄膜是一种薄膜结构,可保护极紫外 (EUV) 掩模在曝光过程中免受污染。然而,由于极紫外光子的吸收,其有限的透射率会引起不必要的加热。EUV薄膜的可以通过提高其热稳定性来避免,这是通过提高薄膜的发射率来实现的。然而,薄膜的发射率数据在文献中并不容易获得,其值对厚度非常敏感。因此,我们研究了发射率对结构参数的依赖性,例如厚度、表面粗糙度和晶粒尺寸。我们使用理论和实验方法发现了电阻率和发射率之间的相关性。通过改变Ru薄膜的晶粒尺寸,使用 Lorentz-Drude 模型对电阻率和发射率之间的关系进行了实验验证和确认。后,我们提出了一种开发具有更好热稳定性的 EUV 薄膜的方法,该薄膜可以承受高功率 EUV 光源。”
光刻机制造商ASML预计涨价幅度在10%-15%
位于荷兰的半导体设备供应商 ASML 公布了第二季度业绩,显示供应链挑战、通货膨胀和地缘政治不确定性的不利因素,并暗示其机器价格可能会上涨。
ASML 拥有 95% 的 DUV 设备市场份额,而还没有任何本土替代品。但是,还有其他竞争对手,如尼康和佳能可以向提供深紫外设备。因此,文宁克的评论主要是说,美国提出限制ASML继续向销售DUV,将让其竞争对手在市场获得更大的份额。
Wennink 看到(汽车领域)半导体含量翻了两番或五倍,工业领域、计算和汽车领域的需求依然强劲。他证实了“短期情况喜忧参半”,因为经济放缓,特别是在个人电脑和智能手机领域,并且在不同的半导体节点中,库存上升到 Covid 之前的水平是相当广泛的。据此初步判断,ASML涨价幅度预计在10-15%。
关闭傲腾是优化产品组合支撑IDM 2.0战略的重要一环
英特尔于2015年推出傲腾业务,并对其寄予厚望。不过,在2020年,英特尔已经对傲腾业务有所淡化,以90亿美元的价格向SK海力士出售了其NAND闪存以及存储业务,另一方面保留的傲腾业务主要面向企业级市场,逐渐淡出了消费级市场。
财报显示,英特尔客户计算集团第二季度净营收为76.65亿美元,相比之下去年同期为102.53亿美元,同比下降25%;数据中心和人工智能集团第二季度营收为46.49亿美元,相比之下去年同期为55.47亿美元,同比下降16%;网络和边缘集团第二季度营收为23.33亿美元,相比之下去年同期为21.05亿美元,同比增长11%;英特尔加速计算系统和图形业务部门第二季度营收为1.86亿美元,相比之下上年同期为1.77亿美元,同比增长5%;自动驾驶部门Mobileye第二季度营收为4.60亿美元,相比之下上年同期为3.27亿美元,同比增长41%;代工服务事业部(Intel Foundry Services)第二季度营收为1.22亿美元,相比之下上年同期为2.64亿美元,同比下降54%。
ADI近期出现了一波降价浪潮 !!
1、用于光电二极管放大、电池供电仪表、多极滤波器、传感器、条码扫描器、音频#AD8606ARMZ、#AD8606ARZ,价格已经下降。
2. #AD8657ARMZ-R7在不久的将来呈下降趋势。
3、用于加热器控制、#LED调光控制、便携式及#battery供电设备#LTC6992系列产品,市场缺货严重,近期价格持续上涨。
4. Maxim和ADI将于2022年8月正式合并,行业交付时间延长40-50周。#DS3234系列和#ADUM系列正面临严重短缺,交货时间长和创纪录的价格。
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