扫描电镜景深长成像越立体当电子束照射到样品上,电子便会与样品发生多种反应。其中部分电子可以直接透过样品;部分电子被样品散射开来;另外一部分电子从样品表面反射出来。把所有这些不同类型的电子收集起来,并使它们成像,便可以构成不同类型的电子显微镜。其中,把样品表面反射回来的电子收集起来并成像,这种电子显微镜叫做扫描电子显微镜。扫描电镜的试样制备 扫描电镜一个突出的特点就是对样品的适应
天津场发射扫描电镜型号
扫描电镜景深长成像越立体
当电子束照射到样品上,电子便会与样品发生多种反应。其中部分电子可以直接透过样品;部分电子被样品散射开来;另外一部分电子从样品表面反射出来。把所有这些不同类型的电子收集起来,并使它们成像,便可以构成不同类型的电子显微镜。其中,把样品表面反射回来的电子收集起来并成像,这种电子显微镜叫做扫描电子显微镜。
扫描电镜的试样制备 扫描电镜一个突出的特点就是对样品的适应性很大,所有的固态样品,无论是块状的、粉末的、金属的、非金属的、有机的、无机的都可以观察。而且样品的制备比较简单,但仍需要一定的技术和要求,否则就不能达到满意的结果。一般的扫描电镜对样品的要求主要有:适当的大小和良好的导电性。扫描电镜景深长成像越立体。
景深指一个透镜对高低不平的试样
景深指一个透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围。估算景深D = 2 r/a = 0.2/(aM) mm,a-电子束张角,M-放大倍数。SEM物镜采用小孔视角、长焦距,可获得很大景深。
衬度包括表面形貌衬度和原子序数衬度。表面形貌衬度由试样表面的不平整性引起。原子序数衬度指扫描电子束入射试祥时产生的背散射电子、吸收电子、X射线,对微区内原子序数的差异相当敏感。原子序数越大,图像越亮。二次电子受原子序数的影响较小。高分子中各组分之间的平均原子序数差别不大;所以只有—些特殊的高分子多相体系才能利用这种衬度成像。

场发射电子所选用的阴极材料
场发射电子所选用的阴极材料必需是高强度材料,以能承受高电场所加诸在阴极的高机械应力,钨即因高强度而成为较佳的阴极材料。场发射通常以上下一组阳极来产生吸取电子、聚焦、及加速电子等功能。利用阳极的特殊外形所产生的静电场,能对电子产生聚焦效果,所以不再需要韦氏罩或栅极。(上)阳极主要是改变场发射的拔出电压(extraction voltage),以控制针尖场发射的电流强度,而第二(下)阳极主要是决定加速电压,以将电子加速至所需要的能量。

热场发式电子是在1800K温度下操作,避免了针尖flash
热场发式电子是在1800K温度下操作,避免了大部份的气体分子吸附在针尖表面,所以免除了针尖flashing的需要。热式能维持较佳的发射电流稳定度,并能在较差的真空度下(10-9 torr)操作。虽然亮度与冷式相类似,但其电子能量散布却比冷式大3~5倍,影像分辨率较差,通常较不常使用。
萧基发射式的操作温度为1800K,它系在钨(100)单晶上镀ZrO覆盖层,ZrO将功函数从纯钨的4.5eV降至2.8eV,而外加高电场更使电位障壁变窄变低,使得电子很容易以热能的方式跳过能障(并非穿隧效应),逃出针尖表面,所需真空度约10-8~10-9torr。其发射电流稳定度佳,而且发射的总电流也大。而其电子能量散布很小,仅稍逊于冷场发射式电子。其电子源直径比冷式大,所以影像分辨率也比冷场发射式稍差一点。

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