潽拓——OSAKA大阪分子泵工厂，分子泵
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OSAKA大阪分子泵工厂
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广州潽拓光电维修大阪 OSAKA TG1400FBAB分子泵
大阪真空的涡轮分子泵(复合分子泵)的主要特点：
●无油的超真空环境
●机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同
●可排稀有气体和腐蚀性气体
●可连续排大流量气体
●可工作的压力范围(～10-10Pa)
广州潽拓光电科技有限公司——OSAKA大阪分子泵工厂
大阪真空涡轮分子泵越来越多地用于现代半导体工业。 溅射、蚀刻、蒸发、注入、分子束外延和离子处理等设备都需要在真空环境中运行。 近十年来，国内外涡轮分子泵得到了显着的改进和发展。 在涡轮分子泵的应用日益增多的情况下，干式前级泵并没有得到广泛的推广和应用，有时不得不使用油封机械泵作为涡轮分子泵的前级泵。 因此，针对这种情况，涡轮分子泵的合理选择和正确运行显得非常重要。
大阪涡轮（复合）分子泵
用 途■小型实验设备的排气■装载室，搬送式排气■分析测量仪器的排气■吸附搬送■的排气■封装排气■电子，离子源的排气■干燥■溅射蒸镀等PVD设备排气■小型炉排气■分子泵等高真空泵的辅助泵
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