扫描系统的作用是使入射电子束在样品表面上作有规则的扫动扫描系统的作用是使入射电子束在样品表面上作有规则的扫动,并与阴极射线管电子束在荧光屏上能够同步扫描,改变入射电子束在样品表面上的扫描振幅,以获得所需放大倍数的图像。扫描系统主要由扫描发生器、扫描线圈、放大倍率变换器组成。在入射电子作用下,样品表面上产生的各种物理信号被检测并经转换放大成用以调制图像或作其它分析的信号,这一过程
天津扫描电镜型号
扫描系统的作用是使入射电子束在样品表面上作有规则的扫动
扫描系统的作用是使入射电子束在样品表面上作有规则的扫动,并与阴极射线管电子束在荧光屏上能够同步扫描,改变入射电子束在样品表面上的扫描振幅,以获得所需放大倍数的图像。扫描系统主要由扫描发生器、扫描线圈、放大倍率变换器组成。在入射电子作用下,样品表面上产生的各种物理信号被检测并经转换放大成用以调制图像或作其它分析的信号,这一过程就是由该系统来完成的。对于不同的物理信号要用不同的检测器来检测。目前扫描电镜常用的检测器主要是电子检测器,X射线检测器。
扫描电子显微镜,是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发
扫描电子显微镜,是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器,被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等,对于导电材料,可直接放入样品室进行分析,对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。
从结构上看,如图2所示,扫描电镜主要由七大系统组成,即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。

大视场、低倍数观察样品的形貌
观察厚试样:其在观察厚试样时,能得到高的分辨率和真实的形貌。观察试样的各个区域的细节:试样在样品室中可动的范围非常大,可以在三度空间内有6个自由度运动(即三度空间平移、三度空间旋转),这对观察不规则形状试样的各个区域带来极大的方便。在大视场、低放大倍数下观察样品,用扫描电镜观察试样的视场大:大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域是很必要的,如侦察和考古。

热场发式电子是在1800K温度下操作,避免了针尖flash
热场发式电子是在1800K温度下操作,避免了大部份的气体分子吸附在针尖表面,所以免除了针尖flashing的需要。热式能维持较佳的发射电流稳定度,并能在较差的真空度下(10-9 torr)操作。虽然亮度与冷式相类似,但其电子能量散布却比冷式大3~5倍,影像分辨率较差,通常较不常使用。
萧基发射式的操作温度为1800K,它系在钨(100)单晶上镀ZrO覆盖层,ZrO将功函数从纯钨的4.5eV降至2.8eV,而外加高电场更使电位障壁变窄变低,使得电子很容易以热能的方式跳过能障(并非穿隧效应),逃出针尖表面,所需真空度约10-8~10-9torr。其发射电流稳定度佳,而且发射的总电流也大。而其电子能量散布很小,仅稍逊于冷场发射式电子。其电子源直径比冷式大,所以影像分辨率也比冷场发射式稍差一点。

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