洁净室采样检测
采样点数口：对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数不得少于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。
采样点位置：1.采样点一般离地0.8m高度的水平面上均匀布置。洁净工作台采样点一般在工作台面上0.2m高度的水平面上均匀布置。
2.采样点多于5点时，可在0.8m~1.5m(略高于工作
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洁净室采样检测
采样点数口：对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数不得少于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。
采样点位置：1.采样点一般离地0.8m高度的水平面上均匀布置。洁净工作台采样点一般在工作台面上0.2m高度的水平面上均匀布置。
2.采样点多于5点时，可在0.8m~1.5m(略高于工作面）高度的区域内分层布置，但每层不少于5点。
洁净室检测压差的测试
（1）应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。
（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。
（4）所测量记录的数据应到 1.0Pa。
（1）先关闭所有的门。
（3）记录所有数据。
（1）不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于5Pa。
（3）对于空气洁净度等级严于 5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
洁净室气流流向检测
一、 测试目的
平行度测量的目的，是观察在工作区域里面气流的运动模式，同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行，过早进行可能得不到正确的数据。
二、 测试方法
一般而言平行度的测量，是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水雾、PFA 、和轻质棉线。。烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小，烟雾可随风飘扬，可正确的反映气流运动模式。但是其共同问题是滞空性不足，观测时间太短。测量平行度需要花一些时间，因此需要大量烟雾或水雾，对无尘室可能造成污染。另一种方式是使用轻质细线，让细线随风飘舞，然后测量气流平行度。在无尘室内普遍使用新的高分子材料 Flo-Viz ，是用尼龙抽成单丝所制成，由于质量很轻因此适合作无尘室平行度测量。测量平行度的方法是立一根铅垂线，然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线，之后观察所施放烟雾与铅垂线的夹角，或是测量细线与铅垂线的夹角，就可决定气流的平行度。
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