电子显微镜利用电子成像电子显微镜利用电子成像，类似于光学显微镜使用可见光成像。由于电子的波长远小于光的波长，所以电子显微镜的分辨率要高于光学显微镜的分辨率。扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）,简称扫描电镜，已成为功能强、用途广的材料表征工具，已广泛应用于材料，冶金，矿物，生物学等领域，如图1所示为蔡司场发射扫描电镜。SEM主要组成
场发射扫描电镜型号
电子显微镜利用电子成像
电子显微镜利用电子成像，类似于光学显微镜使用可见光成像。由于电子的波长远小于光的波长，所以电子显微镜的分辨率要高于光学显微镜的分辨率。扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）,简称扫描电镜，已成为功能强、用途广的材料表征工具，已广泛应用于材料，冶金，矿物，生物学等领域，如图1所示为蔡司场发射扫描电镜。SEM主要组成部分是：电子光学系统，信号收集处理系统，图像显示和记录系统，真空系统，电源及控制系统等。
光学显微镜以可见光为介质
光学显微镜以可见光为介质，电子显微镜以电子束为介质，由于电子束波长远较可见光小，故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率高只有约1500倍，扫描式显微镜可放大到10000倍以上。
根据de Broglie波动理论，电子的波长仅与加速电压有关：
λe=h / mv= h / (2qmV)1/2=12.2 / (V)1/2 ()
在 10 KV 的加速电压之下，电子的波长仅为0.12，远可见光的4000 - 7000，所以电子显微镜分辨率自然比光学显微镜优越许多，但是扫描式电子显微镜的电子束直径大多在50-100之间，电子与原子核的弹性散射 (Elastic Scattering) 与非弹性散射 (Inelastic Scattering) 的反应体积又会比原有的电子束直径增大，因此一般穿透式电子显微镜的分辨率比扫描式电子显微镜高。
新型高温材料MoSi2/Ti-6Al
新型高温材料 MoSi2 具有优良的高温化性能且硬度高，可作为 Ti-6Al-4V 合金表面的化涂层。但高温下该涂层与基体合金的界面稳定性较差，Si 元素的内扩散会导致 MoSi2 涂层退化，从而降低其化性能以及缩短其服役寿命。此外，合金元素的外扩散会导致在基体中形成 Kirkendall 孔，因而降低其力学性能及其与涂层的界面结合强度。因此，需要在 MoSi2 / Ti-6Al-4V 合金界面处制备阻扩散层，以延缓界面互扩散并提高涂层的服役寿命。采用 SEM 和 EDS 分析复合涂层的微观形貌、相组成、化学成分和元素分布等，可以研究涂层的化性能，分析复合涂层的化机理，探讨阻扩散层的作用机制及失效机理。
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