净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(Clean
Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及。在我国，《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范)都是这样规定的垂直平行
万级洁净室
净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(Clean
Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及。在我国，《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范)都是这样规定的垂直平行流(层流)洁净室≥0。ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：
A.弹性扩充容易;
B.维修设备时可在维修区轻易执行。
光学微电子净化工程解决方案:
3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机++FFU送风口
这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
15个平米大的小温室怎么控制温湿度
可以设定温度是25度(可任意设定) 这个温度 启动加热系统 回滞设定10(可任意设定)加热系统加热到25+10=35度的时候就自动停止。净化工程中空气净化处理方案：净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高1效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。湿度相同:设定湿度是55度(可任意设定) 这个温度 启动加湿系统 回滞设定10(可任意设定)加湿系统加热到55+10=65度的时候就自动停止。
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