实验室供气系统气体管路
指气瓶至仪器终端之间连接管线,一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成,输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体。
使用的气瓶和备用气瓶之间有一个半自动调节阀来控制。所有气体管路都是高质量的、完全退火、无缝不锈钢SS-316L。所有氧气管路都需完全清理干净,使其适合氧气使用。气体管路需要
高纯供气系统
实验室供气系统气体管路
指气瓶至仪器终端之间连接管线,一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成,输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体。
使用的气瓶和备用气瓶之间有一个半自动调节阀来控制。所有气体管路都是高质量的、完全退火、无缝不锈钢SS-316L。所有氧气管路都需完全清理干净,使其适合氧气使用。气体管路需要有安全压力释放阀门、压力调节阀门、压力表来指示气体压力。
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高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。特种气体钢瓶在运输和储存的注意事项由于特种气体产品的潜在危险性,如氧气遇油脂着火,气瓶倒下使阀门拆断引起飞瓶,惰性气体引起窒息等等。
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高纯供气系统
1、净化剂则采用了世界的净化材料。其特点有吸附深度好,吸收杂质气体量大的特点,纯度可达99.9999%以上;
2、净化器采用特殊结构和装料方法,流速设计合理,气流分布均匀;
3、内外精拉管管路。采用进口卡套式球阀。了气体流经管路的再次污染,一次安装终身使用,真正做到零泄漏及无故障运行。
4、双式结构,开机后一组工作,另一组再生、备用,而且RZ-YA-C系列半自动纯化装置工作和再生都自动进行,故能够连续供气,一台能顶单式的两台使用。
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