微波烘干设备是一种电磁波，只要遇到极性分子，微波对物质进行波动性传导并终被物质所吸收。任何的物质都是由极性分子和非极性分子组成，在微波场的作用下，极性分子会随着磁场的磁极的变化从原来的随机分布状态转向按照电场的极性变化，这种变化运动以每秒24.5亿次的频率(以2450HMZ频率微波为例)进行，造成分子的剧烈运动与摩擦碰撞，从而产生热量
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微波烘干设备是一种电磁波，只要遇到极性分子，微波对物质进行波动性传导并终被物质所吸收。任何的物质都是由极性分子和非极性分子组成，在微波场的作用下，极性分子会随着磁场的磁极的变化从原来的随机分布状态转向按照电场的极性变化，这种变化运动以每秒24.5亿次的频率(以2450HMZ频率微波为例)进行，造成分子的剧烈运动与摩擦碰撞，从而产生热量，微波能直接转化为介质内的热能，使介质温度不断升高，这个是微波对物质加热的基本原理。
真空干燥时物料的脱水是依靠热传导将外来热量传递给被干燥物料的，而在低气压环境下，用对流方式进行热传递速度较慢，妨碍了真空干燥优点的发挥。微波干燥是利用介电加热原理，依靠高频电磁振荡来引发分子运动，使被加热物发热，加热方式有别于传统的对流、传导与辐射，系微波直接对物体进行加热，传热这一限制因素被打破。
微波真空干燥把微波干燥和真空干燥两项技术结合起来，充分发挥各自优势，在一定的真空度下水分扩散速率加快，可以在低温条件下对物料进行干燥，较好地保持了物料的营养成分。微波可为真空干燥提供热源，克服了真空状态下常规热传导速率慢的缺点，因而大大缩短了干燥时间，提高了生产效率。
微波真空干燥技术加工温度低、营养成分损失率低、脱水，因此对含水率较高的水果蔬菜进行脱水加工时，更能发挥其优势。
1979年法国次在工业规模上应用微波真空技术生产的柑橘粉呈发泡状，易溶解，很好地保持了天然色、香、味，其维生素的保持率远高于喷雾干燥 。美国加州大学研究用微波真空干燥技术生产脱水膨化葡萄，能很好地保持鲜葡萄风味和色泽，外形也能不萎缩，由于微波干燥温度低，干燥时间短，维生素B1，维生素B2，维生素C能得到较高的保留率。
用微波照射过的点心和食品，其保鲜期可以延长。特别是点心切片后切面会污染，若在包装物的外部照射一下，有防霉的效果。甚至将点心用塑料袋装后再集中一批装入纸箱前 ，经过传送带再用微波照射一下，也有很好的效果。此外，除了适应微波照射，点心的包装材料也要适当变化一下。防霉、杀菌装置若是小批量可以用一般的微波炉即可（当然尺寸要稍大）。但对于大批量、大容量，建议选用微波炉，以保证加热温度均匀。
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