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流体控制
流体控制是利用流体的各种控制元件(各种泵、阀门、油缸)及液压系统附件(过滤器、管路接头、液位计、压力仪表等),组成控制闭式回路,以进行自动控制。
液压控制 液压控制用油液作为工作介质,故能把由于功率的损耗而产生的热量,从发生的地方带到别处,这样在一定的功率情况下,可以大大减小部件的尺寸;从负载的影响看
气体质量流量计数字控制模块厂家
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流体控制
流体控制是利用流体的各种控制元件(各种泵、阀门、油缸)及液压系统附件(过滤器、管路接头、液位计、压力仪表等),组成控制闭式回路,以进行自动控制。
液压控制 液压控制用油液作为工作介质,故能把由于功率的损耗而产生的热量,从发生的地方带到别处,这样在一定的功率情况下,可以大大减小部件的尺寸;从负载的影响看,液压系统具有机械上的刚性,用在闭环系统中,定位刚度较大,位置误差较小;与机械机构相比,液压执行器的响应速度较高,能高速启动、制动与反向,同时其力矩—惯量比也较大,因而其加速能力较强;液压传动易实现无级调速,具有自身润滑等优点。
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FSCU 用途
将 FSCU 嵌入到应用系统中,FSCU 可通过触摸屏、PLC、PC 软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器(如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等)及截止阀,可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换,从而实现气路中常用元件的程序控制,实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
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气体质量流量控制器如何选择密封材料
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
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